洁净室测试方法.wps
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1、洁净室测试方法A.1 风量或风速的检测A.1.1 对于单向流洁净室,采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量。离高 效过滤器 0.3m,垂直于气流的截面作为采样测试截面,截面上测点间距不宜大于 0.6m, 测点数不应少于 5个,以所有测点风速读数的算术平均值作为平均风速。A.1.2 对于非单向流洁净室,采用风口法或风管确定送风量,做法如下:1 风口法是在安装有高效过滤器的风口处,根撼风口形状连接辅助风管进行测量。 即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口形状及内截面相同、 长度等于 2倍风口长边长的直管段,连接于风口外部。在辅助风管出口平面上,按最少测点数不少于 6 点均匀布 置,使用热球
2、式风速仪测定各测点之风速。 然后,以求取的风口截面平均风速乘以风口净截面积求取测定风量。2 对于风口上风侧有较长的支管段,且已经或可以钻孔时,可以用风管法确定风量。测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前 3倍管径或长边长,局部阻力部件后5 倍管径或长边长的部位。对于矩形风管,是将测定截面分割成若干个相等的小截面。 每个小截面尽可能接近正方形,边长不应大于 200mm,测点应位于小截面中心,但整个截面上的测点数不宜少于3 个。对于圆形风管,应根据管径大小,将截面划分成若干个面积相同的同心圆环,每个圆环测4 点。 根据管径确定圆环数量,不宜少于3 个。A.2 静 压 差 的 检 测A.2.1 静压
3、差的测定应在所有的门关闭的条件下,由高压向低压,由平面布置上与离外 界最远的里间房间开始,依次向外测定。A.2.2 采用的微差压力计,其灵敏度不应低于2.0Pa。A.2.3 有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室,其洞口处应有合理的气流流向。洞口的平 均风速大于等于 0.2m/s 时,可用热球风速仪检测。A.3 空气过滤器泄漏测试A.3.1 高效过滤器的检漏,应使用采样速率大于 1L/min 的光学粒子计数器,D 类高效过 滤器宜使用激光粒子计数器或凝结核计数器。A.3.2 采用粒子计数器检漏高效过滤器,其上风侧应引人均匀浓度的大气尘或含其他气 溶胶尘的空气。 对大于等于 0.5m尘粒,浓度应大于或
4、等于 3.5105pc/m3;或对大于或 等于 0.1m 尘粒,浓度应大于或等于 3.5107pc/ m3;若检测 D 类高效过滤器,对大于或等于0.1m 尘粒,浓度应大于或等于3.5109pc/ m3。A.3.3 高效过滤器的检测采用扫描法,即在过滤器下风侧用粒子计数器的等动力采样 头,放在距离被检部位表面 2030mm 处,以 520mm/s 的速度,对过滤器的表面、边框和封头胶处进行移动扫描检查。A.3.4 泄漏率的检测应在接近设计风速的条件下进行。将受检高效过滤器下风侧测得的 泄漏浓度换算成透过率,高效过滤器不得大于出厂合格透过率的 2 倍;D 类高效过滤器不得大于出厂合格透过率的3
5、倍。A.3.5 在移动扫描检测工程中,应对计数突然递增的部位进行定点检验。A.4 室内空气洁净度等级的检测A.4.1 空气洁净度等级的检测应在设计指定的占用状态(空态、静态、动态)下进行。A.4.2 检测仪器的选用,应使用采样速率大于 1 L/min 的光学粒子计数器。在仪器选 用时应考虑粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率。仪表应有有效的标定合格 证书。A.4.3 采样点的规定:1 最低限度的采样点数NL,见表11.4.2-3。2 采样点应均匀分布于整个面积内,并位于工作区的高度(距地坪 0.8m 的水平面),或设计单位、业主特指的位置。A.4.4 采样量的确定;1 每次采样的最少采样量
6、见表11.4.2-4。2 每个采样点的最少采样时间为1min,采样量至少为 2L。3 每个洁净室(区)最少采样次数为 3 次。当洁净区仅有一个采样点时,则在该点 至少采样3 次。4 对预期空气洁净度等级达到 4 级或更洁净的环境,采样量很大,可采用 IS0146441附录 F规定的顺序采样法。A.4.5 检测采样的规定;1 采样时采样口处的气流速度,应尽可能接近室内的设计气流速度。2 对单向流洁净室,其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向;对于非单向流洁净 室,采样管口宜向上。3 采样管必须干净,连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据允许长度确定,如果 无规定时,不宜大于1.5m。4 室内的测定人
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