多晶硅薄膜太阳电池的研究概况.wps
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1、多晶硅薄膜太阳电池的研究概况多晶硅薄膜太阳电池的研究重点有两个方面,其一是电池衬底的选择,其二是制备电池的工艺和方法,但无论是哪一方面的研究都应满足制备多晶硅薄膜电池的一些基本要求:()低成本 (材料和工艺)()高效率()易于产业化对于衬底的选择必须满足以下一些条件:()低成本()导电(或绝缘,依结构设计而定)()热膨胀系数与硅匹配()非毒性()有一定机械强度比 较 合 适 的 衬 底 材 料 为 一 些 硅 或 铝 的 的 化 合 物 , 如SiC,Si3N4,SiO2,Si,Al2O3,SiAlON,Al 等,从目前的文献看有以下一些衬底:()单晶硅()多晶硅()石墨包SiC()SiSiC
2、()玻璃碳()SiO2膜目前,制备多晶硅薄膜的工艺方法主要有以下几种:()化学气相乘积法(法)()等离子体增强化学气相沉积法(法)()液相外延法()()等离子体溅射沉积法化学气相沉积()法就是将衬底加热到适当的温度,然后通以反应气体(如、 、 、 等),在一定的保护气氛下反应生成硅原子并沉积在衬底表面。这些反应的温度通常较高,在之间。人们发现,如果直接在非硅底材上用法沉积多晶硅,较难形成较大的晶粒,并且容蝗在晶粒之间形成孔隙,对制备较高效率的电池不利。 因此发展了再结晶技术,以提高晶粒尺寸,其具体方法是:先用低压化学气相沉积()法在衬底表面形成一层较薄的、 重掺杂的非晶硅层,再用高温将这层非晶
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