《工业硅化学分析方法 碳含量的测定红外吸收法》(讨论稿).doc
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1、1协会标准电子工业用高纯硝酸 (讨论稿)编制说明一、工作简况工作简况1 1、项目背景和立项意义、项目背景和立项意义近年来随着极大规模集成电路产业的发展,高纯硝酸的使用范围越来越广,使用量也越来越大,集成电路产业对硝酸的纯度要求也越来越高。国内生产硝酸的厂家很多,且产能也在不断的在扩大,但每个厂家对硝酸的技术指标规定不统一,执行标准也不一至,产品质量水平与国外先进水平相比较差,已不能满足极大规模集成电路产业发展的需求,因此,需要建立一个适用于集成电路产业用高纯硝酸的技术标准,促使国内企业提高高纯硝酸的产品质量,统一高纯硝酸的技术规格,为高纯硝酸的生产、销售、采购及使用提供参考依据,对促进我国极大
2、规模集成电路产业发展具有重要的意义。目前国外先进标准有 SEMI C35-0708Specifications and Guideline for Nitric Acid,国内标准有 GB/T 337.1-2014工业硝酸 浓硝酸、GB/T 337.2-2014工业硝酸 稀硝酸、GB/T 626-2006化学试剂 硝酸,这些标准中规定的技术规格较低,已不能满足国内极大规模集成电路产业发展的需求。2 2 任务来源任务来源根据关于下达 2018 年第一批协会标准制修订计划的通知(中色协科字2018 23 号)的要求,电子工业用高纯硝酸由青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司牵头负责起草,计划
3、编号:2018-030-T/CNIA,要求于 2019 年完成。3 3 标准项目编制单位简况标准项目编制单位简况青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司为青海黄河上游水电开发有限责任公司的内部核算单位,负责电子级多晶硅项目的生产运营、市场销售及技术研发管理,目前公司已建成年产 2500 吨电子级多晶硅的改良西门子法工艺生产线。我公司实验室为 CNAS 认可实验室,实验室总建筑面积 1543 平方米,实验室由公共服务区和 10 个功能实验室组成,实验室严格按照 SEMI 标准设计,按照 ISO 4、ISO 5、ISO 8 级标准建设了 10 个洁净检测室。具有多种先进的测试手段和检测能力,积
4、累了丰富的生产和研究经验。设备力量雄厚,测试经验丰富。多年来我们承担了工信部关于多晶硅行业准入测评过程中几十家企业的硅材料产品样本的检测工作,工信部“十一五”电子信息产业发展基金多晶硅生产副产物循环利用技术研发及产业化项目的研发工作,国家科技重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺2(02 专项)电子级多晶硅材料研发项目,是目前国内唯一一家实现电子级多晶硅国产化销售且产品应用于集成电路行业的多晶硅企业。分公司先后参加了多项国家标准、行业标准和协会标准的编制工作,具备了本标准编制及相关实验条件和分析能力。4 4 主要工作过程主要工作过程接到行业标准制定计划任务后,在全国有色金属标准化技术委员会
5、的组织下,青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司成立了协会标准电子工业用高纯硝酸编制组,确定了编制组成员的任务分工和实验计划。编制组开展了相关国内外资料、标准的整理和研讨工作。自任务下达后,编制组组织分析技术人员开展了大量实验研究工作,对标准文本做了多次修改,2019 年 7 月编制完成电子工业用高纯硝酸 (预审稿) ,2019 年西宁会议经过与会专家讨论,结合各生产厂家的意见对预审稿做了修订,并最终形成审定稿。二二 标准编制原则和确定标准主要内容标准编制原则和确定标准主要内容1编制原则编制原则本标准按照 GB/T 1.1-2009标准化工作导则 第 1 部分:标准的结构和编写和 GB/
6、T 20001.4-2001标准编写规则 第 4 部分: 化学分析方法的要求进行编写。标准中简述了方法原理,确定了适用范围、等级划分及其杂质含量要求、检验规则、包装、运输、贮存等技术内容。2标准主要内容说明标准主要内容说明2.1 标准题目的确定本标准的题目完全能够高度概括标准主旨和中心,能够反映出电子工业用硝酸要求及检验方法。2.2 范围本标准规定了电子工业用高纯硝酸的分级、要求、检验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和储存及安全。本标准适用于电子工业用高纯硝酸。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等。2.3 分级电子工业用高纯硝酸
7、按用途分为四个等级:3电子级:主要用于多晶硅实验室内小批量电子级样品的酸洗,多晶硅生产过程中对中间产品氯硅烷的检测分析、对太阳能级产品的检测分析等。电子级:主要用于在电子行业生产线上大规模电子级产品的清洗。超纯级:主要用于多晶硅实验室内电子 1 级品和电子 2 级品的体表金属杂质的检测分析、电子级包装袋的金属杂质的检测分析。超纯级:主要用于多晶硅实验室内电子 3 级品和太阳能 1 级品的检测分析、太阳能级包装袋中金属杂质的检测分析。2.4 要求2.4.1 外观:无色透明液体。2.4.2 电子工业用高纯硝酸应符合表 1 技术要求。表1 技术要求项目电子级电子级超纯级超纯级主含量(HNO3)%69
8、.0-70.0色度(APHA)10101010氯化物(Cl-)w/(g/kg) 50800.050.5磷酸根(PO43-)w/(g/kg) 502000.050.5痕 量 阴 离 子 指 标硫酸根(SO42-)w/(g/kg) 505000.050.5铝(Al)w/(g/kg) 150.01100锑(Sb)w/(g/kg) 150.01100砷(As)w/(g/kg) 1100.01100钡(Ba)w/(g/kg) 1100.01100硼(B)w/(g/kg) 1100.01100镉(Cd)w/(g/kg) 150.01100钙(Ca)w/(g/kg) 1100.01100铬(Cr)w/(g/
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