MEMES微光栅编码器.ppt
《MEMES微光栅编码器.ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《MEMES微光栅编码器.ppt(41页珍藏版)》请在得力文库 - 分享文档赚钱的网站上搜索。
1、微型光栅编码器 MEMS grating encoder 07级电科4班 制作:岳森 赵建涛 王亮 赵博征 卢礼平 栗力我将从以下几个方面给大家做出介绍:1.开发微型光栅编码器的意义;2.微型光栅编码器的原理及结构尺寸;3.以投影型编码器为例详细介绍制作工艺投影型编码器为例详细介绍制作工艺;4.近几年发展的新MEMS grating encoder;5.部分微系统光栅读码器在我们生活中的应用开发微型光栅编码器的意义;编码器是一种探测位置、位移、角度、速度和旋转方向等用途的位置传感器。随着计算机的普及,伴随由模拟控制向数字控制转变而必然产生的模/数(A/D)变换器。最初编码器实施数字化的目的只是
2、为了适应自动化、省力化和高速化发展的需要。近年来又向高精度化和多功能化方面发展。对于复杂抛物线形状等的X线,用金属反射镜、非球面透镜,要求实现高精度化的呼声也日益提高。他们都要求用小于20nm的节距进行测量,有人提出用原子作为刻度的方法,这种方法也要求高分辨率。这样,就势必要求实现微结构化。还有一个研究课题,就是期待在高功能化方面实现集光传感器、执行元件、电子电路于一体化的光微级机。返回微型光栅编码器的原理及结构尺微型光栅编码器的原理及结构尺寸寸MEMS grating encoder 本身非常小,可以将多个编码器编入微小的执行元件中,有利于执行元件的高功能化。encoder是一种变位测定器,
3、所以也适用于速度传感器、加速度传感器和压力传感器等。Encoder 在三维测定器方面的应用并不妨碍目前变位计的高功能化。另外,即使做成载物台,只要把线标度和编码器主体内藏在载物台中,那么也可以把载物台作为确定位置使用,有利于载物台的高功能化。因此,在编码器等测量和传感器领域实现微型化,是有很大实用价值的。下面就介绍光编码器实现微型化的意义。对于小型、可高精度测定的光衍射编码器进行了微型化实验。将卫星透镜和多角形激光去一体化,支撑了见方的超小型编码器,与以前的尺寸比为1:100(照片1)。希望在功能和性能(分辨率10nm)方面能达到与目前最高级产品同等的水平。由于采用了可成批大量生活残的光刻集成
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- MEMES 微光 编码器
限制150内