《高真空泵浦简介》PPT课件.ppt
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1、24th March.201011.高真空定义以及高真空泵浦分类2.TurboPump的介紹以及使用上的注意事項3.DP的介紹以及使用上的注意事項4.低温泵浦介紹以及使用上的注意事項項目2高真空泵浦分类n1.高真空定义压力在110-3到115-6毫米汞柱范围内的真空n2.高真空分类1、分子泵2、扩散泵3、低温泵34TMP的構造及特長回転体翼部複合型。取付方向全方位自由、軸制御形磁気軸受採用。ROTOR為一體成型轉子:葉片間距與寬度比葉片與轉動盤面之角度壓縮級的數目5例:Ar平均速度:390m/s(15)ROTOR周速度 250 400m/s.STATOR翼ROTOR 翼PUMP的排氣原理(1)
2、依據ROTOR的旋轉運動,給予氣體分子朝特定方向(排氣口端)運動的能量PUMP的排氣原理(2)粘滯流及分子流:平均自由徑粘滯流:藉由氣體分子間反覆地相互碰撞推擠而移動分子流:藉由氣體分子反覆地向管壁衝撞及反射而移動之分子分子流特性利用排気7磁浮控制原理(1)依SENSOR電壓的變動來控制供給磁石的電流,使磁浮體保持在中心位置.8感應型SENSOR(2)旋轉體的位置若有變動,線圈會感應而隨之變動.此變動是指電能轉換成動能.9磁浮控制單元(3)電磁石変位SENSORROTOR(SHAFT)根據SENSOR檢測出旋轉體位置的訊號,透過磁石,對SHAFT的另一端做吸引的動作,使磁浮對象浮到中心位置.1
3、0五軸控制,全方位安裝11Rotor,Stator及其他零件間的空隙因Rotor與T/DBearing的間隙為最小.藉此可防止Rotor或Stator與其他零件相互接觸.12停電時的動作發生停電時,由rotor的回轉的動能持續發電,繼續磁浮控制.平常運轉時的電流停電時的電流PUMP13停電時動作的時間変化磁捊控制持續同時做減速動作,直到一定的回轉數時,發電能力即完全消失,而touch down 於 bearing 之上,之後再藉由T/D Bearing的回轉抵抗緩緩的減速直到完全停止停電時動作通常停止時動作14151.cable要確實安裝插入Pump,controller及cable間有互換性
4、在做更換時,請務必確認cableconnector有確實安裝好.162.請在規定的容許壓力下使用.MFCprocess gasventing gas(inert gas)less than 1500SCCMpurge gas(inert gas)2030SCCMprocess chamberthrottle valvemain valvefore valvebypath valveventing gas(inert gas)less than 1500SCCMDrypumpTMP吸気口圧力吸気口圧力:67 Pa*2003LM 200 Pa*403LM 排気口圧力排気口圧力:270 Pa*-20
5、03LM 400Pa*-403LM 173.其他的使用注意事項如有以下的狀況發生時會導致pump故障,故請避免之.a)避免抽含有Ga(镓)Gas的氣體(如有此需求,請與SMZ連絡)b)避免抽固態異物c)避免堆積多量之反應生成物d)避免給予強大的外部振動(許容最大値:0.1G/50Hz)e)避免於強大的磁場中運轉(許容最大値:半径方向3mT軸方向15mT)f)避免放射線干擾(許容最大値:5000rads)g)避免Plasma侵入h)避免使用非規定範圍的電壓,Purge流量,壓力,冷却水量等.i)避免反覆地大氣突入18Troubleshooting(1)-ActionTroubleshooting
6、(1)-Action請先確認controller面板上的alarmNo.參照使用說明書確認可能的原因及處理方法依據處理方法將trouble原因去除19岛津分子泵使用注意事项岛津分子泵使用注意事项n请相关人员仔细阅读并充分理解岛津分子泵及其控制器的操作说明书n分子泵运转之前请确认分子泵安装稳妥,电缆线正常连接并锁紧n分子泵在通电后及正常运转时内部旋转体是由电磁力支撑悬浮的,请尽量不要碰撞泵体、控制器和缆线n当换靶或做设备保养需要停止分子泵时,请先给出停机指令(STOP),待分子泵减速结束,ROTATION指示灯熄灭(液晶显示屏上显示STOP及转速显示为0%),确认分子泵已经完全停止,才可以关掉电
7、源。如需要拆下缆线,在如前述正常停止分子泵并关掉对应的控制器电源后,才可以拆下与分子泵对应的缆线。分子泵在正常运转时绝对不能拔下电缆插头n当需要对腔体恢复大气时,务必等分子泵完全停止时再进行放气20岛津分子泵使用注意事项岛津分子泵使用注意事项n当遇到意外断电时,分子泵会发生报警(POWERFAILURE),此时分子泵会自发电以维持内部旋转体保持悬浮状态,同时减速运行(BRAKE),在减速到一定转速时,自发电停止,旋转体掉落(TOUGHDOWN),由保护轴承支撑继续旋转减速直至完全停止。在分子泵旋转体掉到保护轴承上时,分子泵会发出比较大的声音,这种情况是正常的。遇到意外断电时,请设法尽快恢复供电
8、,如能在5分钟之内恢复供电,则不会发生TOUGHDOWN,旋转体会恢复悬浮状态,重新启动也可以进行。n当发生人为误操作导致断电时,请及时恢复供电,需要分子泵继续运转时,请按RESET按钮(按第一下,报警蜂鸣器消音,按第二下,报警复位,报警指示灯熄灭),之后给出启动(START)指令。n分子泵正常运转时,请尽量避免在泵体及控制器附近进行会产生比较大的震动、噪音和磁场的作业,例如冲击钻作业等n每日检点分子泵及控制器的运行状况,如听分子泵声音,查看控制器LCD的显示信息或监视软件上的运转参数,检查真空度和冷却水状况。21SoftwareoperationfunctionSoftwareoperati
9、onfunction22Troubleshooting-AlarmcheckTroubleshooting-Alarmcheck23ProtectionactionofProtectionactionofalarmalarm2425DP的结构及特性利用低压、利用低压、高速和定高速和定向流动的向流动的油蒸气射油蒸气射流抽气的流抽气的真空泵真空泵。26n这种泵的极限真空为10-410-5帕,工作压力范围为10-110-4帕,抽速范围为几十至十几万升秒(1升10-3米3)。当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时,油锅可开始加热。沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流,热运动的气体分子扩散到蒸气流中,与定向运动的
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