蚀刻污分析图解.ppt
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1、报告目录报告目录1 1、缩水后呈、缩水后呈MM状材料作业宣导图状材料作业宣导图2 2、ITO FILMITO FILM点数及物料转移作业标准点数及物料转移作业标准3、MO88-8H1C/KO49-4H8C蚀刻污蚀刻污图解图解3 3、MO88-8H1C/KO49-4H8CMO88-8H1C/KO49-4H8C蚀刻污图解蚀刻污图解MO88-8H1C X射线能谱分析法(EDS)MO88-8H1C光学显微镜成像MO88-8H1C光学显微镜成像MO88-8H1C光学显微镜成像3 3、MO88-8H1C/KO49-4H8CMO88-8H1C/KO49-4H8C蚀刻污图解蚀刻污图解KO49-4H8C电子显微
2、镜成像KO49-4H8C电子显微镜成像KO49-4H8C电子显微镜成像KO49-4H8C光学显微镜成像KO49-4H8C光学显微镜成像KO49-4H8C光学显微镜成像1)不良现象在透光检查的情况下,可见与ITO 图案之间的gap区域有白雾状不良,形状与gap一样;2)不良品使用无尘布蘸酒精或者石油醚擦拭,雾状不良不可擦拭。ITO可视性透射检查示意图3 3、MO88-8H1C/KO49-4H8CMO88-8H1C/KO49-4H8C蚀刻污图解蚀刻污图解类别图例备注蚀刻后ITO上有耐酸残留耐酸未完全与NaOH反应,ITO 表面有耐酸油墨残留,导致有ITO区域透光时比ITO区发雾,产生白雾不良ITO gap UC层有损伤产生变化UC层被NaOH溶液损伤,导致UC层特性变化,产生雾状不良导致白雾状不良主要原因可能为:白雾产生区域有残留异物或者此处的ITO被蚀刻后UC层有发生变化导致(如下图)造成白雾状不良的原因分析3 3、MO88-8H1C/KO49-4H8CMO88-8H1C/KO49-4H8C蚀刻污图解蚀刻污图解Thank youThank youTHE END
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