高纯气体的配管及材质.pdf
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1、精品文档高纯气体的配管及材质高纯气体的配管及材质1高纯气体管路的设计要点:(1)对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。(2)管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为 20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于 8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为 1/4”3/8”。(3)根据用气设
2、备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。(4)管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。(5)对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。(6)为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系
3、统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。(7)在亚微米级的集成电路生产中,要求供应 109级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器2高纯气体配管及附件材质的选择(1)选择标准选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料:目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求
4、控制高纯气体中总杂质含量1.01.0106 及以下的管材应用 SS316L-EP 管,高纯气体使用管材的特点及要求如下表所示:.精品文档项目钢材冶炼方法高纯气体使用管材的特点及要求高纯气体使用管材的特点及要求SS304BA 或 SS316BA真空氧气脱碳法冷延热处理冷拉光亮热处理脱脂一般水洗纯水水洗(10000 级洁净环境)纯氮吹扫(1000 级洁净环境)检查包装(压帽氮封及双层聚乙烯外包装充纯氮保护)3.04.5m90管外径、管壁厚、管长、管道垂直度SS316LEP真空氧气脱碳法或真空电弧熔炼法冷延热处理冷拉光亮热处理脱脂一般水洗电解抛光一般水洗碱中和一般水洗硝酸浸渍水洗冷纯水水洗(1000
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