最新 用蓝宝石衬底精.ppt
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1、最新 用蓝宝石衬底第1页,本讲稿共13页 蓝宝石切面图 晶体结构图上视图 晶体结构侧视图 Al2O3分之结构图第2页,本讲稿共13页蓝宝石结晶面示意图最常用来做GaN磊晶的是C面(0001)这个不具极性的面,所以GaN的极性将由制程决定 (a)图从C轴俯看 (b)图从C轴侧看第3页,本讲稿共13页蓝宝石蓝宝石(Al(Al2 2O O3 3)特性表特性表分子式分子式AlAl2 2O O3 3密度密度3.983.98克克/立方厘米立方厘米晶体结构晶体结构六方晶格六方晶格晶格常数晶格常数a=4.785a=4.785 ,c=12.991,c=12.991 莫氏硬度莫氏硬度9 (9 (仅仅次于次于钻钻石
2、石:10):10)熔点熔点20452045沸点沸点30003000热热膨膨胀胀系数系数5.85.810-6/K10-6/K比比热热0.418W.s/g/k0.418W.s/g/k热导热导率率25.12W/m/k(10025.12W/m/k(100)折射率折射率no=1.768 ne=1.760no=1.768 ne=1.760dn/dtdn/dt13x10-6/K(633nm)13x10-6/K(633nm)透光特性透光特性T80%(0.3T80%(0.35m)5m)介介电电常数常数11.5(11.5(c),9.3(c)c),9.3(c)第4页,本讲稿共13页2 2 蓝宝石晶体的生长方法蓝宝石
3、晶体的生长方法 蓝宝石晶体的生长方法常用的有三种:1:提拉法提拉法(Czochralski method),简称CZ法.先将原料加热至熔点后熔化形成熔体,再利用一单晶籽晶接触到熔体表面,在籽晶与熔体的固液界面上因温度差而形成过冷。于是熔体开始在籽晶表面凝固并生长和籽晶相同晶体结构的单晶。籽晶同时以极缓慢的速度往上拉升,并伴随以一定的转速旋转,随着籽晶的向上拉升,熔体逐渐凝固于籽晶的液固界面上,进而形成一轴对称的单晶晶锭.晶体生长示意图如下:第5页,本讲稿共13页 提拉法(Czochralski method)之原理示意图 第6页,本讲稿共13页 2:泡生法(Kyropoulos method)
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