PI工序培训.ppt
《PI工序培训.ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《PI工序培训.ppt(31页珍藏版)》请在得力文库 - 分享文档赚钱的网站上搜索。
1、PI工序工艺基础2021/9/261工艺流程光刻后基板PI前清洗纯水IPAPI/TOP涂覆TOP液PIAPR版准备预固化检固化检检摩擦辊准备摩擦检摩擦后清洗丝印制盒2021/9/262清洗工艺概述污染物的种类:油脂 其它有机物 无机物 尘埃颗粒污染附着机理:分子间力 静电附着 化学结合 浸透和扩散2021/9/263清洗工艺概述清洗的目的:除去尘埃颗粒 去除化学污染 表面处理PI前清洗的工艺原理:利用物理的、化学的方法将吸附在玻璃表面的污物解吸脱离玻璃表面,然后干燥、活化,提高ITO玻璃的涂覆性 2021/9/264清洗工艺概述表面清洗的方法:去除油脂:有机清洗、UV清洗 其它有机物:弱碱清洗
2、、氟清洗、等离子体清洗 去除无机物:弱酸清洗、气流冲清、喷淋 尘埃颗粒:超声清洗、喷淋清洗、气流冲洗有机清洗的应用:有机清洗中尽可能选择水溶性高的有机溶剂,使溶剂在温槽中处于搅拌状态或循环状态。在电子工业标准中通常有机溶剂含有很多尘埃粒子,在有机洗后,超声、喷淋、水流、纯水清洗很重要2021/9/265清洗工艺概述超声清洗:超声波清洗属物理清洗,把清洗液放入槽内,在槽内作用超声波。由于超声波是一种疏密的振动波,在传播过程中,介质的压力作交替变化。在负压区域,液体产生撕裂的力,并形成真空的气泡。当声压达到一定值时,气泡迅速增长,在正压区域气泡由于受到压力破灭闭合,此时液体间相互碰撞产生强大的冲击
3、波。虽然位移、速度都非常小,但加速度非常大,局部压力达几千个大气压,这就是所谓的空化效应。超声清洗还有一个特点,就是对声反射强的材料,清洗效果好,如:金属、玻璃、塑料等,另一方面,对声吸收较大的材料清洗效果较差。(20KHZ,2W/CM2的超声波在清洗液中传播时,他引起质点的震动位移幅度为1.32UM、速度为0.16M/S、加速度为2.04104M/S2声压为2.45105PA。这表明工件表面的污物每秒将遭受2万次从正2.45大气压到负的2.45大气压的激烈冲击。)2021/9/266清洗工艺概述我公司PI前清洗工艺:纯水1号槽发振2号槽发振3号槽发振4号槽发振5号槽IPA6号槽烘干物流505
4、01号辅助槽IPA辅助槽IPA辅助槽IPA辅助槽802021/9/267清洗工艺概述清洗的发展:由于环境污染和环保的要求,有机溶剂的使用受到限制,特别是氟。所以最近UV清洗和等离子体清洗越来越多应用。2021/9/268PI涂覆工艺PI涂覆的分类:浸涂 旋转涂 选择性涂覆我公司PI涂覆工艺原理:用选择涂覆的方法将含有定向材料的溶液均匀地涂布在具有电极图形的玻璃的指定位置上。然后预烘、固化,获得一层厚薄合适、均匀一致的定向膜。2021/9/269偏光板玻璃基板ITO配向膜液晶SPACER配向膜半透過C/FITO玻璃基板偏光板框膠半透膜PI涂覆工艺PI层的主要作用:在表面形成有序沟槽,使表层液晶分
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- PI 工序 培训
限制150内