5BX601关键过程明细表.doc
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5BX601 红外变像管关键过程(工序)红外变像管关键过程(工序) 明细表明细表编制:编制:校核:校核:审定:审定:批准:批准:云南云光发展有限司云南云光发展有限司关键过程(工序)明细表关键过程(工序)明细表编号:0101产品名称:5BX601 红外变像管序 号过程名称工艺规程 编号工艺要求涉及的设备名称操作 人员备注1在排气台上焊 接制品封接牢固真空排气台2排气排气温度:400420,排气时间: 5 小时温度计、真空排气台3第一次蒸银和 氧化真空度达到(1.34)10-4Pa 以上, 银层呈深黄色,银层均匀氧化透彻真空计、高频、真空 排气台4第二次蒸银, 铯激活及高温 处理银层呈浅灰色,铯激活温度 180190,高温处理温度不超过铯 激活温度。温度计、真空排气台5第三次蒸银及 低温处理红外光电流下降到蒸银前数值的 1/101/15 时停止蒸银,高温处理温 度 8090温度计、真空排气台、 灵敏度放大仪6制品从排气上 封下4BX601-U- 1(制造部门 5,工序号 3) 银氧铯阴极 的制作红外灵敏度4uA真空排气台、灵敏度 放大仪朱富兴 赵亚群 任季星 温元晖 董燕波 陈芝5BX601 光 电工艺借用 4BX601 光 电工艺
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