扩散炉停机流程.pdf
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1、 扩散炉停机流程 The Standardization Office was revised on the afternoon of December 13,2020 一,48 所扩散炉正常关机流程:1.确认工艺结束,分步降温,先降温 600 度,然后 400 度再 200 度,再关闭加热键。2.待降温完成后,关闭监控软件和电脑。3.关闭面板上的上电按钮和每台电控柜中的 3 个但 P 空开。4.关闭恒温槽,拆下源瓶。5.关闭总电源开关。6.关闭冷却水,气体阀门,并注意查看是否有冷凝水,或酸排倒灌现象。7.关闭各气体手阀,如果需要开保护氮气的话,氮气就不用关。二,48 所扩散炉紧急停电注意事项
2、:1.关闭上电按钮,和电柜中 3 个单 P 空开。2.关闭恒温箱以及源瓶手阀,必要时生产拆线源瓶。3.关闭总电源开关。4.迅速打开设备的所有盖板,让机器紧急散热。5.注意查看冷却水是否正常或有冷凝水,尽量不要断冷却水,冷凝水情况要不定时检查。6.检查各气体酸排管道是否有异常。三CT 扩散炉正常停机流程:1.确认工艺已经结束,设定各管温度为 500 度。2.关闭炉口上面压缩空气调压阀,使压力为零,调节时一定要用力均匀。2.当各管温度降至 500 度时,手动将炉门拉出来一点,不要超过 5MM 动作要轻,防止冷凝后粘住。3.降温分步降,500 度,200 度,50 度。3.待降温合适后,关闭 CMI
3、软件和电脑,关闭 4 个管的 CESAR电脑的开关.4.停止运行恒温箱,并关闭黑色的开关,必要时生产拆下源瓶。5.关闭设备冷却水,先关进水阀,后关出水阀。6.关闭各气体手阀,如果需要开保护氮气的话,氮气就不用关。7.关闭设备总电源开关。四,CT 扩散炉紧急停电注意事项:1.关闭软件和电脑。2.关闭 CESAR 电脑开关。3.关闭总电源开关。4.迅速打开炉体所有盖板,用于设备紧急散热。5.手动关闭炉口上面的压空调压阀,使压力为零,将炉门拉出来一点,不要超过 5MM 动作要轻,防止炉门冷凝后粘住。6.查看冷却水是否正常,尽量不要断冷却水,并确认是否有冷凝水 各管道的冷凝水情况一定要不定时检查。7.关闭恒温箱开关,必要时配合生产拆下源瓶。
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