ch09扫描电子显微分析与电子探针-材料分析测试答案(共4页).doc
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1、精选优质文档-倾情为你奉上第九章 扫描电子显微分析与电子探针一、教材习题10-2为什么扫描电镜的分辨率和信号的种类有关?试将各种信号的分辨率高低作一比较。答:扫描电镜可以利用多种信号成像,图像分辨率和信号的种类有关,这是因为不同信号的性质和来源不同,作用的深度和范围不同(如下图所示)。因此,主要信号图像分辨率的高低顺序为:俄歇电子像(与电子束直径相当)二次电子像背散射电子像吸收电流像特征X射线像。通常所说的扫描电镜的分辨率是指二次电子像的分辨率。入射电子产生的各种信息的深度和广度范围(a) 电子束散射区域形状(梨形作用体积):1-入射电子;2-俄歇电子激发体积,信息深度(0.5-2nm);3-
2、样品表面;4-二次电子激发体积,信息深度(5-10nm);5-背散射电子激发体积;6-吸收电子作用体积、初级X射线激发体积(b) 重元素样品的电子束散射区域形状(半球形作用体积)10-3二次电子像的衬度和背散射电子像的衬度各有何特点?答:二次电子像的衬度特点:景深大、立体感强、分辨率高;衬度来源于形貌、成分、电压(样品局部电位)、样品中的磁畴(第一类磁衬度),主要反映形貌衬度。背散射电子像的衬度特点:相对于二次电子像,景深小,立体感不强、分辨率较低。衬度来源于成分、形貌、电压、第二类磁衬度,主要反映原子序数衬度(成分衬度)。10-4试比较波谱仪和能谱仪在进行微区化学成分分析时的优缺点。答:波谱
3、仪和能谱仪在进行微区化学成分分析时的优缺点对比如下:波谱仪能谱仪分析速度较慢,一般不适合作定性分析。分析速度快,可在几分钟内分析和确定样品中含有的几乎所有的元素。可分析4B-92U。一般分析11Na-92U,特殊窗口材料仪器可分析4B-92U。适合定量分析,准确度高。适合定性分析和半定量分析,准确度较高。现代能谱仪的定量分析准确度也很高。灵敏度较低,难以在低束流和低激发强度下使用。灵敏度高,可以在低入射束流和低激发强度下使用。重复性较好。重复性好。波长分辨率高,峰背比高。能量分辨率低,峰背比低。适宜分析表面平整样品。平整样品、表面较粗糙的样品均可分析。工作条件要求不太严格。工作条件要求严格,探
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