最新半导体器件半导体工艺介绍光刻幻灯片.ppt
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1、进入夏天,少不了一个热字当头,电扇空调陆续登场,每逢此时,总会进入夏天,少不了一个热字当头,电扇空调陆续登场,每逢此时,总会想起那一把蒲扇。蒲扇,是记忆中的农村,夏季经常用的一件物品。记想起那一把蒲扇。蒲扇,是记忆中的农村,夏季经常用的一件物品。记忆中的故乡,每逢进入夏天,集市上最常见的便是蒲扇、凉席,不论男女老忆中的故乡,每逢进入夏天,集市上最常见的便是蒲扇、凉席,不论男女老少,个个手持一把,忽闪忽闪个不停,嘴里叨叨着少,个个手持一把,忽闪忽闪个不停,嘴里叨叨着“怎么这么热怎么这么热”,于是三,于是三五成群,聚在大树下,或站着,或随即坐在石头上,手持那把扇子,边唠嗑五成群,聚在大树下,或站着
2、,或随即坐在石头上,手持那把扇子,边唠嗑边乘凉。孩子们却在周围跑跑跳跳,热得满头大汗,不时听到边乘凉。孩子们却在周围跑跑跳跳,热得满头大汗,不时听到“强子,别跑强子,别跑了,快来我给你扇扇了,快来我给你扇扇”。孩子们才不听这一套,跑个没完,直到累气喘吁吁,。孩子们才不听这一套,跑个没完,直到累气喘吁吁,这才一跑一踮地围过了,这时母亲总是,好似生气的样子,边扇边训,这才一跑一踮地围过了,这时母亲总是,好似生气的样子,边扇边训,“你你看热的,跑什么?看热的,跑什么?”此时这把蒲扇,是那么凉快,那么的温馨幸福,有母亲此时这把蒲扇,是那么凉快,那么的温馨幸福,有母亲的味道!蒲扇是中国传统工艺品,在我国
3、已有三千年多年的历史。取材的味道!蒲扇是中国传统工艺品,在我国已有三千年多年的历史。取材于棕榈树,制作简单,方便携带,且蒲扇的表面光滑,因而,古人常会在上于棕榈树,制作简单,方便携带,且蒲扇的表面光滑,因而,古人常会在上面作画。古有棕扇、葵扇、蒲扇、蕉扇诸名,实即今日的蒲扇,江浙称之为面作画。古有棕扇、葵扇、蒲扇、蕉扇诸名,实即今日的蒲扇,江浙称之为芭蕉扇。六七十年代,人们最常用的就是这种,似圆非圆,轻巧又便宜的蒲芭蕉扇。六七十年代,人们最常用的就是这种,似圆非圆,轻巧又便宜的蒲扇。蒲扇流传至今,我的记忆中,它跨越了半个世纪,也走过了我们的扇。蒲扇流传至今,我的记忆中,它跨越了半个世纪,也走过
4、了我们的半个人生的轨迹,携带着特有的念想,一年年,一天天,流向长长的时间隧半个人生的轨迹,携带着特有的念想,一年年,一天天,流向长长的时间隧道,袅道,袅图形化工艺图形化工艺常用的是旋转法,它又分为旋转板式和自转式 l胶膜的厚度由转速和胶的浓度来调解。旋转板式涂胶法的缺点是胶膜厚度不够均匀,多余的胶飞溅易沾污衬底。采用自转式涂胶法能较好地克服上述缺点。 自旋式涂胶方式中根据喷胶的方式不同,又可分为三种模式。1.静态涂胶:将晶圆吸附在针孔吸盘上,在不旋转的状态下,滴胶,光刻胶自然散开满晶圆,再经旋转获得均匀的光刻胶膜。2.动态喷洒:晶圆在500r/min的转速下,光刻胶被喷洒在晶圆表面。低速旋转是
5、帮助光刻胶最初的扩散。之后,高速旋转得到均匀的光刻胶膜。3.移动手臂喷洒:动态喷洒喷胶时,喷洒手臂从晶圆中心向晶圆边缘移动,特别适合大直径晶圆。高速旋转可以使光刻胶在晶圆边缘堆积,称为边缘珠。可以采用溶剂直接喷洒在晶圆边缘和背面的边缘附近直接去除。3、前烘软烘焙 前烘就是将涂好胶的样品进行加热处理。前烘的目前烘就是将涂好胶的样品进行加热处理。前烘的目的是促使胶膜体内的溶剂部分挥发,使胶膜干燥,的是促使胶膜体内的溶剂部分挥发,使胶膜干燥,以增加胶膜与衬底的粘附性和胶膜的耐磨性。在曝以增加胶膜与衬底的粘附性和胶膜的耐磨性。在曝光对准时,胶膜与掩膜版不易擦伤、磨损和沾污,光对准时,胶膜与掩膜版不易擦
6、伤、磨损和沾污,同时,只有在胶膜干燥后曝光,化学反应才能充分同时,只有在胶膜干燥后曝光,化学反应才能充分进行。进行。 l前烘的方法有两种:一种是在前烘的方法有两种:一种是在6060100100恒温干燥箱恒温干燥箱中烘十至十五分钟,具体条件还要视胶的种类和性中烘十至十五分钟,具体条件还要视胶的种类和性质而定;第二种是用红外灯烘焙,即把衬底放在干质而定;第二种是用红外灯烘焙,即把衬底放在干净的容器中,然后用红外灯从容器底照射几分钟。净的容器中,然后用红外灯从容器底照射几分钟。此法的优点是胶膜的干燥从金属膜与胶的交界面开此法的优点是胶膜的干燥从金属膜与胶的交界面开始,溶剂逐渐从内部向表面挥发,干燥效
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