《薄膜力学》课程教学大纲(本科).docx
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1、薄膜力学Thin film mechanics课程代码:24410082学分:2学时:32先修课程:理论力学、材料力学适用专业:工程专业本科生(第7学期)教材:薄膜物理与器件 编著:肖定全等 北京:国防工业出版社2010弹性力学(第4版)(下册),徐芝纶,高等教育出版社,2006一、课程性质与课程目标(一)课程性质薄膜的制备技术、薄膜物理学以及薄膜的技术应用等,都是正在迅速发展中的科学 与技术。有关薄膜形成的机理和薄膜生长动力学、薄膜的某些重要物理性质,还在不断 地研究和探索之中;薄膜的制备技术也在不断地发展和完善。因此,本课程着重介绍薄 膜的物理及化学制备基本原理与方法,薄膜的形成、结构和缺
2、陷的基本内容,以及薄膜 力学中的主要方面,使薄膜技术的初学者能够大体掌握薄膜技术的概貌。(二)课程目标1.知识方面:了解薄膜的物理制备工艺学、化学制备工艺学;薄膜制备中的相关技术; 薄膜的形成和生长;现代薄膜实验分析方法;薄膜的物理性质;薄膜的断裂及应用; 2.能力与素质方面:了解薄膜的物理和化学制备方法;掌握薄膜实验分析方法,能将 薄膜分析方法在工程薄膜结构中进行熟练运用,理解薄膜在工程实际中的应用;学会薄 膜断裂的基本分析方法。3.对毕业要求的支撑性:通过该课程的学习,使学生掌握薄膜结构制备、薄膜结构测 试、薄膜结构断裂以及薄膜结构工程应用初步知识。(三)课程目标与专业毕业要求指标点的对应
3、关系(认证专业专业必修课程填写)本课程支撑专业培养计划中毕业要求指标点3、4、5、6:1 .毕业要求3:掌握工程力学所需的数学、物理学等基本内容,了解机械工程、材料工程等 相关领域的基础知识和挑战,初步具备从中提炼关键力学问题并利用基本力学思维和方法解决问题 的能力;2 .毕业要求4:掌握力学基础知识和基本理论。掌握理论力学、材料力学、弹性力学、振动 力学,流体力学,计算力学和实验力学的理论体系,初步利用力学思维对自然和工程问题进行机理 性和定量化的建模与描述,明确各种力学理论的适用范围与局限性;3 .毕业要求5:掌握基本的力学实验与数值计算技能前者包括理论力学及材料力学等基础力 学实验与结构
4、健康监测和微纳米测试等方面的最新实验技术。后者要求具有使用数值模拟软件或编 程计算典型工程力学案例的能力;.毕业要求6:初步掌握力学研究的基本方法和手段,具有初步的工程实践能力,初步具备发现、提出、分析和解决与力学有关的工程技术问题的能力;注:课程目标与毕业要求指标点对接的单元格中可输入也可标注“H、M、L课程目标毕业要求指标课程目标1课程目标2课程目标3毕业要求3毕业要求4毕业要求5毕业要求6二、课程内容及要求第一章前言(一)教学内容(列出主要知识点、能力点)1 .自然界中的薄膜结构2 .先进制造中的薄膜结构3 .薄膜的应用(二)教学要求(将相关内容按照掌握、理解、了解等不同教学要求进行分类
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