真空泵的分类及工作原理.ppt
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1、真空泵的分类及工作原理logo真空技术真空泵的分类 往复式真空泵往复式真空泵 容积真空泵容积真空泵 1.旋转式真空泵旋转式真空泵气气体体传传输输 分子真空泵分子真空泵泵泵 动量传输泵动量传输泵 喷射真空泵喷射真空泵 扩散泵扩散泵真空泵的分类2.吸附泵吸附泵气气体体捕捕集集泵泵 低温泵低温泵按其工作原理基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。气体输送泵包括:1、液环真空泵2、往复式真空泵3、油封机械泵4、罗茨真空泵5、干式真空泵等。气体捕集泵包括:1、低温泵2、离子溅射泵3、分子筛吸附泵4、钛升华泵5、电离升华泵6、锆铝合金吸气泵等。如图:在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向
2、旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0为起点,那么叶轮在旋转前180时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。2.往复式真空泵运转时,在电动机的驱动下,通过曲柄连杆机构的作用,使气缸
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