特殊气体管路暨高洁净度管路施工规范18549.docx
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1、特殊气体管管路暨高高洁净度度管路施 工 规规 范目 录录1. 无尘室作业业安全规规范2. pipinng iinsttalllatiion 管路架架设3. 弯管作业规规范4. 熔接规范5. 测试规范6. 工安规范7. 监工人员工工地监工工准则作业标准程程序 1.无尘室室作业安安全规范范1-1.一一般清洁洁区工作作条件(厂务机机房)1) .进入工作作区前,鞋鞋子必须须清理干干净。2) .最好每天天擦拭有有类似金金属碎屑屑等东西西的地方方。3) .有规则的的存放材材料。4) .禁止于工工作区内内吸烟、吃吃东西、喝喝饮料。5) .所有工作作区必须须有垃圾圾筒,收收集废料料等东西西。6) .材料人员员
2、进出必必须清洁洁一次。7) .所有人员员及设备备每周必必须清洁洁一次。8) .产生污染染的工作作必须个个隔离。(喷漆、磨砂轮机等)1-2.非非常干净净区工作作条件(洁净室室地下回回风区)1) .必须换穿穿专用的的鞋子或或鞋套。2) .使用真空空吸尘器器清除脏脏东西。3) .有规则的的存放材材料。4) .禁止于工工作区内内吸烟、吃吃东西、喝喝饮料。5) .所有使用用过的材材料、残残余剩料料等必须须每日清清除。6) .所有工作作区内必必须有密密封式垃垃圾筒,收收集废料料等东西西。7) .材料人员员进出必必须管制制。8) .所有人员员及设备备每周必必须清洁洁一次。9) .产生污染染的工作作必须隔隔离
3、(如喷漆漆、磨砂砂轮机等等)。10) .进出工作作区内的的全部材材料必须须清理干干净,才才可进入入。11) .所有工作作区必须须换穿干干净工作作服。12) .工作区的的管线设设备禁止止勾攀、践践踏、吊吊挂东西西。1-3.绝绝对干净净区工作作条件(洁净室室生产区区)1) .必须换穿穿无尘专专用的鞋鞋子或鞋鞋套。2) .使用中央央系统真真空或特特别过滤滤装置的的手提真真空吸尘尘器清除除作业时时产生的的金属等等粉屑。3) .有规则的的存放使使用材料料。4) .禁止于工工作区内内吸烟、吃吃东西、喝喝饮料。5) .所有使用用过的材材料、残残余剩料料等必须须每日清清除。6) .所工作区区内须有有密封式式垃
4、圾筒筒,收集集废料东东西。7) .材料人员员进出必必须管制制。8) .所有工作作人员及及业主人人员每日日必须清清洁干净净。9) .产生污染染的工作作必须于于进入无无尘室前前完成。10) .进入工作作区内的的全部材材料和工工具必须须用水清清洗干净净,才可可进入。11) .除入无尘尘室应换换穿无尘尘依及尼尼龙手套套外,余余均应穿穿着干净净之工作作服。12) .禁止木质质或瓦愣愣纸材料料所做的的纸箱进进入无尘尘室。13) .禁止触碰碰任何液液体和你你不知道道的任何何器物。14) .含有油品品的工具具禁止携携入。1-4.清清净室施施工安全全规则1) .指定专人人办理安安全事宜宜。2) .勿雇用童童工。
5、3) .工作区域域内禁止止抽烟。4) .必须准备备安全眼眼镜。5) .在清洁室室须戴安安全帽,特特别是有有震动时时。6) .任何时间间内,均均不得堵堵塞通道道及出入入口。7) .在工作区区域工作作,必须须保持干干净;如如有产生生垃圾,必必须随时时准备垃垃圾袋,于每日收工工时携出出清净室室。8) .如有意外外发生,须须立刻告告知监工工。9) .特殊危险险工作区区,须有有安全围围篱及警警告标志志。10) .地板开口口处,须须有安全全围篱及及警告标标志,以以防止人人员掉入入。11) .须备有灭灭火器以以防火灾灾。12) .灭火器仅仅可使用用泡沫灭灭火器,不不可使用用干粉灭灭火器。13) .工作架在在
6、超出地地面2MM以上时时,须使使用鹰架架,人员员须系安安全带(索)。14) .鹰架、楼楼梯及工工具,须须保持良良好状况况。15) .在超出地地面2MM以上时时,工具具须放置置工具袋袋(箱)内。16) .同时有两两组人员员在不同同高度工工作时,须须有良好好之连系系。17) .工作区域域内须有有良好照照明设备备。18) .所有使用用之电缆缆及电线线,须有有良好绝绝缘。19) .电缆及电电线须连连结良好好,不可可以电线线直接插插入插座座。20) .保险丝须须确时使使用,不不可以钢钢丝替代代。21) .电缆及电电线须正正确使用用,不可可过载。22) .如已送电电之电力力供应盘盘,须标标示警告告标志高压
7、危危险。23) .所有圆柱柱型物品品须直立立,并以以链条或或绳索固固定。24) .切勿于地地板面滚滚动圆柱柱型物品品。25) .如须移动动圆柱型型物品,须须使用特特殊格架架举。26) .易燃物品品如无人人照料,不不可置放放于工作作区域内内。27) .化学物品品如有泄泄漏,必必须马上上处理。28) .易燃物品品须放置置于有盖盖容器内内。29) .任何阀、开开关插座座、电源源插座,不不可随意意开、关关、拔除除(机台管管线)。30) .任何配管管配线、材材料,非非经过监监工人员员同意,不不可擅自自任意更更改。22.Piipinng iinsttalllatiion管管路架设设在无尘室或或简易洁洁净室
8、执执行高洁洁净度配配管工作作时,必必须遵循循下列的的规定。2-1.现现场工作作规定l 携入材料必须置置于特定定的贮藏藏间,在在工地现现场或在在材料间间要提供供暂时性性的简易易洁净室室,所有有材料要要存放整整齐。在在存放材材料时,有有电子抛抛光的管管件必须须和未经经电子抛抛光的管管件分开开。在尚尚未使用用管件之之前都不不要将塑塑料封套套打开直直到现埸埸要使用用时方可可打开,并并且不要要将材料料直接放放在地上上。l 切管切管时,使使用的自自动切割割机或手手动切管管器必须须是专门门为半导导体厂工工作所设设计的。切切管器的的刀片与与管件成成垂直方方向,当当使用自自动切割割机时,放放刀片的的深度要要能使
9、管管壁尚有有薄薄的的一层未未切断,藉藉以防止止切割时时的碎屑屑进入管管内。l 倒角原则上,在在使用倒倒角机(TUBBE SSIZEE用)或锉刀刀(PIIPE SIZZE用)时,小小心地移移开切割割面。如如果切割割面歪斜斜未成垂垂直,焊焊口松驰驰或管子子弯曲等等状况发发生时,这这种管路路是不合合规定,必必须重新新切割及及配置。当当倒角时时,在管管的另一一端必须须用高洁洁净度的的氮气冲冲吹(氮气要要经0.02uum的过过滤器过过滤)。l N2冲吹将管内的微微粒冲吹吹出来。l 工作后的清清洁检视切割机机的洁净净度,保保持机具具不受油油污,如如果仍然然看得见见有油污污或切割割的碎屑屑残余,按按照下列列
10、的方法法清洁之之。用GN2冲冲吹使用的N22必须经经-800或更低低的露点点,经00.022um的的过滤器器干燥。l 预制工作(在简易易洁净室室cleean boooth)在现场的焊焊接工作作降至最最低量是是必需的的。配管管区必须须在有洁洁净气的的地方,在在工作时时维持风风扇正常常运转,于于早、中中、晚用用O2查看看器检查查O2的浓浓度。u 点焊点焊使用TTIG焊焊接,点点焊的点点数按照照下列规规定。(CAJOON的焊焊机必需需保证管管子确实实牢固,从从完成的的观点来来看,最最好不要要使用手手动的TTIG焊焊接,因因此点焊焊被省略略)。3/4” 到15AA到80AA:344点。u 冲吹气体(B
11、acck sseall gaas)使用氩气,露露点-880或更低低,氧含含量在00.1pppm以以下,微微粒(00.1uum以上上)含量为为零。u 冲吹用管套套连接冲吹气气体管路路与架设设管路,使使用(BBackk seeal jigg)如图(一)所示 Baack seaa jiig (BBackk seeal gass) 图(一) (参参考用)u 架设程序(图二)将工作管路路两端套套上管套套,连接接冲吹气气体及阀阀氩气冲吹(预先冲冲吹1分钟以以上) 点 焊 氩气冲吹 焊接(自动动焊接) 氩气冲吹风风(收尾冲冲吹1分钟以以上) GAr GGAr 图(二)u 装封(在CCleaan bboott
12、h内进进行)完成焊接之之后,在在管内充充满Arr气,而而且用无无尘的塑塑料纸在在末端包包裹两层层。如果果末端的的阀已经经连接好好了,把把阀也用用塑料纸纸裹起来来。2-2.现现场施工工l 预制管件连连结连结在Clleann booothh 装装封好的的管件l 现场焊接现埸焊接的的人员必必须有受受过高洁洁净度配配管技术术检定通通过。焊焊接工作作 (i) (ii) GAAr GGAr (iiii) GGAr GAAr (iv) GAAr GGAr(i) 原封至现埸埸。(ii) 先拆卸一端端封套,并并连接BBackk seeal gass。(iii) 拆卸要焊接接端封套套,并冲冲吹干净净。(iv) 连
13、接后将一一端之BBackk seeal gass拆掉使使成出气气端,并并开始 焊接。 u 管路维持条条件即使焊接结结束,也也要维持持小量的的N2或Ar在管管内冲吹吹以防止止空气流流入管内内。无论论如何也也要想办办法把管管内的空空气及微微粒弄出出来,如如果无法法继续冲冲吹。l 焊机电源 供给电电源的电电压的变变动,对对于管路路焊接的的质量影影响甚巨巨。使用用自动焊焊接机的的电源必必需使用用特定的的整流器器。容许许的电压压波动AAC 1100VV10%,AC 2000V10%,在焊焊接进行行时电压压警报器器一直监监视着电电压,如如果电压压超过可可容许的的范围时时,警报报器就会会发出声声音。2-3.
14、其其他注意意事项下述的工作作是在架架设高洁洁净度的的管路时时必需要要执行的的。l 控制氩气冲冲吹u 用压力计或或液位计计察看尚尚余有多多少氩气气。u 看流量计的的刻度检检查冲吹吹气体的的容量。u 使用采样品品阀从钢钢瓶或气气体来源源收集氩氩气,测测量氩气气纯度确确定露点点是在-80以下,残残余氧气气低于00.1pppm,微微粒含量量为0 (0.1umm以上的的微粒)。u 在工作处测测量架设设管路末末端的氩氩气纯度度,确定定露点在在-700以下残残余氧气气低于22ppmm,测量量地点必必须在监监工及焊焊接都同同意的地地方。u 前4项规定定的工作作前在每每天开始始工作由由监工或或工作人人员执行行以
15、控制制质量符符合要求求。u 若气体容量量未达标标准,通通知监工工,暂停停工作,但但是冲吹吹必须持持续进行行,或使使用预留留的LNN2,当当要使用用预留LLN2时时,必定定要做分分析供给给气体纯纯度的工工作。l 简易洁净室室(Clleann booothh)的洁洁净度的的控制u 在Cleaan bbootth内测测量焊接接处的微微粒数量量(0.1umm以上)不能超超过1000个/c.f,claass 100000是是用作贮贮藏用,class 1000是组装用。u 在正常使用用中测量量微粒的的工作一一天至少少进行11次。l 洁净衣物的的管制u 在Cleaan bbootth内使使用的洁洁净衣、洁洁
16、净鞋、洁洁净手套套及其他他设备必必需在使使用前检检查其洁洁净度。u 使用的洁净净衣物等等,必需需一个星星期清洗洗一次,不不论有否否弄脏。l 洁净室依据洁净室室人员管管制规定定的管制制细则,所所有的工工作人员员皆需致致力于工工作在一一个高洁洁净空气气环境中中。l 焊接状况的的检查(由个人人或监工工)当自动焊接接机的工工作条件件改变时时,必须须确定焊焊接数据据与工作作条件一一致。l 钨棒的保养养及管制制u 要时时注意意钨棒是是否变形形。u 磨钨棒的工工作必须须是由监监工认可可之专业业人员使使用特定定的设备备来执行行。l 样品制作及及焊接条条件的检检查(焊接者者或监工工)u 每日早上在在上工前前要制
17、作作数个同同样大小小的样品品。u 监工切开样样品,检检查管内内部焊接接情况,用用目视确确定焊接接的地方方没有不不规则的的孔、裂裂缝、气气孔或没没有完全全焊透等等缺点存存在。u 若有焊接缺缺陷发现现时,检检查焊接接条件、更更换钨棒棒、检查查冲吹气气体纯度度、质量量及冲吹吹的方法法,直到到结果令令人满意意,方可可进行配配管工作作。u 样品及焊接接数据必必须同时时保存。2-4.要要求l 机器携入及及架设u 从侧边带入入机器要要在事先先申请同同意路线线,并且且使用的的拖车放放在特定定的地方方。u 在水泥地板板上使用用铁锚类类之固定定机器。u 经纵、横的的方向确确定无误误后,固固定机器器。u 机器必须在
18、在地板的的防尘油油漆涂上上之前装装上。l 管路标记u 至少每5MM要有标标签贴在在管路上上,标明明气体名称流向l 开/关显示示除了球阀外外,所有有的阀都都要有开开/关的标标示。 3.弯管作作业规范范3-1.说说明本项说明GGas Sysstemm作成时时,如何何使用手手工具PPIPEE BEENDEER来进进行弯曲曲作业。主要对象SUS 3316 BA管管,外径径1/44” (6.335)使用工工具R11 NOO.3994 LLEVEER型TUBBE BBENDDER 。3-2.配配管图看看法与管管长之决决定配管图尺寸寸是表示示配管中中心之尺尺寸或中中心配管管末端之之长之谓谓。 “aa” “a
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