真空热处理炉.ppt
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1、1.1真空热处理炉 Still waters run deep.流静水深流静水深,人静心深人静心深 Where there is life,there is hope。有生命必有希望。有生命必有希望1.2教教学学提提示示教教 学学 要要 求求 了解真空热处理炉的分类、结构、特点和了解真空热处理炉的分类、结构、特点和适用;了解真空热处理炉的电热元件及主要元件的适用;了解真空热处理炉的电热元件及主要元件的设计;了解电炉真空系统组成、工作原理和特点。设计;了解电炉真空系统组成、工作原理和特点。真空热处理是热处理工艺过程的全部或真空热处理是热处理工艺过程的全部或部分在真空状态下进行。真空当作一种纯度较
2、高部分在真空状态下进行。真空当作一种纯度较高的保护气体。的保护气体。第八章第八章 真空热处理炉真空热处理炉1.3 8 81 1 真空系统真空系统 8 82 2 真空热处理炉的分类真空热处理炉的分类 8 83 3 真空热处理炉所用材料真空热处理炉所用材料 8 84 4 真空热处理炉技术的发展真空热处理炉技术的发展 8 85 5 离子渗氮炉离子渗氮炉第八章第八章 真空热处理炉真空热处理炉1.4真空热处理炉加热主要特点:真空热处理炉加热主要特点:1 1、传热方式:辐射;、传热方式:辐射;2 2、加热速度慢;加热均匀性差;、加热速度慢;加热均匀性差;3 3、实现无氧化、不脱碳;、实现无氧化、不脱碳;4
3、 4、工件表面光亮好;、工件表面光亮好;5 5、工件不易变形。、工件不易变形。第八章第八章 真空热处理炉真空热处理炉1.5一、真空一、真空(一)真空:压强(一)真空:压强 小于小于105Pa低压空间称为真空。低压空间称为真空。真空状态下气体的稀薄程度称真空度。真空状态下气体的稀薄程度称真空度。(二)真空划分(二)真空划分:低真空(低真空(102-105Pa)、中真空()、中真空(102-10-1Pa)、)、高真空(高真空(10-1-10-5Pa)、超真空(小于)、超真空(小于10-5Pa)。8 81 1 真空系统真空系统1.6二、真空系统(真空泵、管道、真空阀、真空测量装置)二、真空系统(真空
4、泵、管道、真空阀、真空测量装置)(一)设备:(一)设备:真空泵真空泵真空的主要设备真空的主要设备 8 81 1 真空系统真空系统旋片式机械泵旋片式机械泵滑阀式机械泵滑阀式机械泵机械增压泵机械增压泵油增压泵油增压泵油扩散泵油扩散泵真空泵真空泵真空测量真空测量:电离规管、热偶规管、真空压力表等:电离规管、热偶规管、真空压力表等1.71.8被抽被抽容器容器扩散泵扩散泵机械泵机械泵低真空管道低真空管道高真空管道高真空管道 真空系统工作过程真空系统工作过程 真空系统是由机械泵与油扩真空系统是由机械泵与油扩散泵组成。散泵组成。(二)真空系统的工作过程(二)真空系统的工作过程机械泵机械泵:低真:低真空泵,又
5、称配泵,空泵,又称配泵,常作为高真空泵常作为高真空泵的前级泵。的前级泵。扩散扩散泵泵:抽高真空,:抽高真空,又称主泵。扩散又称主泵。扩散泵出口处的压强泵出口处的压强小于高真空泵的小于高真空泵的临界压强。扩散临界压强。扩散泵出口处的真空泵出口处的真空度又称前置真空。度又称前置真空。1.9 起始压强起始压强:真空泵开始工作时的压强。各种真空:真空泵开始工作时的压强。各种真空泵的起始压强相差很大。例如,机械泵在大气压强下泵的起始压强相差很大。例如,机械泵在大气压强下即可工作,扩散泵须在一定前置真空度下才能工作。即可工作,扩散泵须在一定前置真空度下才能工作。极限压强极限压强:指在真空系统中没有漏气或内
6、壁放出:指在真空系统中没有漏气或内壁放出气体的情况下,经过相当长时间抽气后,一定型号的气体的情况下,经过相当长时间抽气后,一定型号的真空泵所能达到的最小压强。真空泵所能达到的最小压强。8 81 1 真空系统真空系统1.10(三)典型真空系统(三)典型真空系统机械旋转泵机械旋转泵1.11机械旋转泵油扩散泵机械旋转泵油扩散泵/油增压泵油增压泵1.12机械旋转泵油扩散泵油增压泵机械旋转泵油扩散泵油增压泵1.138 82 2 真空热处理炉的分类真空热处理炉的分类一、真空热处理炉的基本结构形式、特点及用途一、真空热处理炉的基本结构形式、特点及用途 1.14工作过程:工作过程:放入工件放入工件密封炉罐密封
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