特殊气体管路暨高洁净度管路施工规范38256153633.docx
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1、Evaluation Warning: The document was created with Spire.Doc for .NET.特殊气体管管路暨高洁洁净度管路路施 工 规规 范目 录1. 无尘室作业业安全规范范2. pipinng innstalllatiion 管管路架设3. 弯管作业规规范4. 熔接规范5. 测试规范6. 工安规范7. 监工人员工工地监工准准则作业标准程程序 1.无尘室室作业安全全规范1-1.一一般清洁区区工作条件件(厂务机房房)1) .进入工作作区前,鞋鞋子必须清清理干净。2) .最好每天天擦拭有类类似金属碎碎屑等东西西的地方。3) .有规则的的存放材料料。4)
2、 .禁止于工工作区内吸吸烟、吃东东西、喝饮饮料。5) .所有工作作区必须有有垃圾筒,收收集废料等等东西。6) .材料人员员进出必须须清洁一次次。7) .所有人员员及设备每每周必须清清洁一次。8) .产生污染染的工作必必须个隔离离。(喷漆、磨磨砂轮机等等)1-2.非非常干净区区工作条件件(洁净室地地下回风区区)1) .必须换穿穿专用的鞋鞋子或鞋套套。2) .使用真空空吸尘器清清除脏东西西。3) .有规则的的存放材料料。4) .禁止于工工作区内吸吸烟、吃东东西、喝饮饮料。5) .所有使用用过的材料料、残余剩剩料等必须须每日清除除。6) .所有工作作区内必须须有密封式式垃圾筒,收收集废料等等东西。7
3、) .材料人员员进出必须须管制。8) .所有人员员及设备每每周必须清清洁一次。9) .产生污染染的工作必必须隔离(如喷漆、磨磨砂轮机等等)。10) .进出工作作区内的全全部材料必必须清理干干净,才可可进入。11) .所有工作作区必须换换穿干净工工作服。12) .工作区的的管线设备备禁止勾攀攀、践踏、吊吊挂东西。1-3.绝绝对干净区区工作条件件(洁净室生生产区)1) .必须换穿穿无尘专用用的鞋子或或鞋套。2) .使用中央央系统真空空或特别过过滤装置的的手提真空空吸尘器清清除作业时时产生的金金属等粉屑屑。3) .有规则的的存放使用用材料。4) .禁止于工工作区内吸吸烟、吃东东西、喝饮饮料。5) .
4、所有使用用过的材料料、残余剩剩料等必须须每日清除除。6) .所工作区区内须有密密封式垃圾圾筒,收集集废料东西西。7) .材料人员员进出必须须管制。8) .所有工作作人员及业业主人员每每日必须清清洁干净。9) .产生污染染的工作必必须于进入入无尘室前前完成。10) .进入工作作区内的全全部材料和和工具必须须用水清洗洗干净,才才可进入。11) .除入无尘尘室应换穿穿无尘依及及尼龙手套套外,余均均应穿着干干净之工作作服。12) .禁止木质质或瓦愣纸纸材料所做做的纸箱进进入无尘室室。13) .禁止触碰碰任何液体体和你不知知道的任何何器物。14) .含有油品品的工具禁禁止携入。1-4.清清净室施工工安全
5、规则则1) .指定专人人办理安全全事宜。2) .勿雇用童童工。3) .工作区域域内禁止抽抽烟。4) .必须准备备安全眼镜镜。5) .在清洁室室须戴安全全帽,特别别是有震动动时。6) .任何时间间内,均不不得堵塞通通道及出入入口。7) .在工作区区域工作,必必须保持干干净;如有有产生垃圾圾,必须随随时准备垃垃圾袋,于每日收工工时携出清清净室。8) .如有意外外发生,须须立刻告知知监工。9) .特殊危险险工作区,须须有安全围围篱及警告告标志。10) .地板开口口处,须有有安全围篱篱及警告标标志,以防防止人员掉掉入。11) .须备有灭灭火器以防防火灾。12) .灭火器仅仅可使用泡泡沫灭火器器,不可使
6、使用干粉灭灭火器。13) .工作架在在超出地面面2M以上时时,须使用用鹰架,人人员须系安安全带(索)。14) .鹰架、楼楼梯及工具具,须保持持良好状况况。15) .在超出地地面2M以上时时,工具须须放置工具具袋(箱)内。16) .同时有两两组人员在在不同高度度工作时,须须有良好之之连系。17) .工作区域域内须有良良好照明设设备。18) .所有使用用之电缆及及电线,须须有良好绝绝缘。19) .电缆及电电线须连结结良好,不不可以电线线直接插入入插座。20) .保险丝须须确时使用用,不可以以钢丝替代代。21) .电缆及电电线须正确确使用,不不可过载。22) .如已送电电之电力供供应盘,须须标示警告
7、告标志高高压危险。23) .所有圆柱柱型物品须须直立,并并以链条或或绳索固定定。24) .切勿于地地板面滚动动圆柱型物物品。25) .如须移动动圆柱型物物品,须使使用特殊格格架举。26) .易燃物品品如无人照照料,不可可置放于工工作区域内内。27) .化学物品品如有泄漏漏,必须马马上处理。28) .易燃物品品须放置于于有盖容器器内。29) .任何阀、开开关插座、电电源插座,不不可随意开开、关、拔拔除(机台管线线)。30) .任何配管管配线、材材料,非经经过监工人人员同意,不不可擅自任任意更改。2.Piping installation管路架设在无尘室或或简易洁净净室执行高高洁净度配配管工作时时
8、,必须遵遵循下列的的规定。2-1.现现场工作规规定l 携入材料必须置置于特定的的贮藏间,在在工地现场场或在材料料间要提供供暂时性的的简易洁净净室,所有有材料要存存放整齐。在在存放材料料时,有电电子抛光的的管件必须须和未经电电子抛光的的管件分开开。在尚未未使用管件件之前都不不要将塑料料封套打开开直到现埸埸要使用时时方可打开开,并且不不要将材料料直接放在在地上。l 切管切管时,使使用的自动动切割机或或手动切管管器必须是是专门为半半导体厂工工作所设计计的。切管管器的刀片片与管件成成垂直方向向,当使用用自动切割割机时,放放刀片的深深度要能使使管壁尚有有薄薄的一一层未切断断,藉以防防止切割时时的碎屑进进
9、入管内。l 倒角原则上,在在使用倒角角机(TUUBE SSIZE用用)或锉刀(PPIPE SIZEE用)时,小心心地移开切切割面。如如果切割面面歪斜未成成垂直,焊焊口松驰或或管子弯曲曲等状况发发生时,这这种管路是是不合规定定,必须重重新切割及及配置。当当倒角时,在在管的另一一端必须用用高洁净度度的氮气冲冲吹(氮气要经经0.022um的过过滤器过滤滤)。l N2冲吹将管内的微微粒冲吹出出来。l 工作后的清清洁检视切割机机的洁净度度,保持机机具不受油油污,如果果仍然看得得见有油污污或切割的的碎屑残余余,按照下下列的方法法清洁之。用GN2冲冲吹使用的N22必须经-880或更低的的露点,经经0.022
10、um的过过滤器干燥燥。l 预制工作(在简易洁洁净室cllean bootth)在现场的焊焊接工作降降至最低量量是必需的的。配管区区必须在有有洁净气的的地方,在在工作时维维持风扇正正常运转,于于早、中、晚晚用O2查看器器检查O22的浓度。u 点焊点焊使用TTIG焊接接,点焊的的点数按照照下列规定定。(CAJOON的焊机机必需保证证管子确实实牢固,从从完成的观观点来看,最最好不要使使用手动的的TIG焊接接,因此点点焊被省略略)。3/4” 到15A到80A:34点。u 冲吹气体(Backk seaal gaas)使用氩气,露露点-800或更低,氧氧含量在00.1pppm以下,微微粒(0.1um以以上
11、)含量为零零。u 冲吹用管套套连接冲吹气气体管路与与架设管路路,使用(Backk seaal jiig)如图(一)所示 Baack ssea jjig (BBack seall gass) 图(一) (参考考用)u 架设程序(图二)将工作管路路两端套上上管套,连连接冲吹气气体及阀氩气冲吹(预先冲吹吹1分钟以上上) 点 焊 氩气冲吹 焊接(自动动焊接) 氩气冲吹风风(收尾冲吹吹1分钟以上上) GAr GAr 图(二)u 装封(在CCleann boooth内进进行)完成焊接之之后,在管管内充满AAr气,而而且用无尘尘的塑料纸纸在末端包包裹两层。如如果末端的的阀已经连连接好了,把把阀也用塑塑料纸裹
12、起起来。2-2.现现场施工l 预制管件连连结连结在Cllean bootth 装装封好的管管件l 现场焊接现埸焊接的的人员必须须有受过高高洁净度配配管技术检检定通过。焊接工作 (i) (ii) GArr GArr (iiii) GArr GGAr (iv) GGAr GGAr(i) 原封至现埸埸。(ii) 先拆卸一端端封套,并并连接Baack sseal gas。(iii) 拆卸要焊接接端封套,并并冲吹干净净。(iv) 连接后将一一端之Baack sseal gas拆拆掉使成出出气端,并并开始 焊接。 u 管路维持条条件即使焊接结结束,也要要维持小量量的N2或Ar在管内内冲吹以防防止空气流流入
13、管内。无无论如何也也要想办法法把管内的的空气及微微粒弄出来来,如果无无法继续冲冲吹。l 焊机电源 供给电电源的电压压的变动,对对于管路焊焊接的质量量影响甚巨巨。使用自自动焊接机机的电源必必需使用特特定的整流流器。容许许的电压波波动AC 100VV10%,AC 2200V10%,在在焊接进行行时电压警警报器一直直监视着电电压,如果果电压超过过可容许的的范围时,警警报器就会会发出声音音。2-3.其其他注意事事项下述的工作作是在架设设高洁净度度的管路时时必需要执执行的。l 控制氩气冲冲吹u 用压力计或或液位计察察看尚余有有多少氩气气。u 看流量计的的刻度检查查冲吹气体体的容量。u 使用采样品品阀从钢
14、瓶瓶或气体来来源收集氩氩气,测量量氩气纯度度确定露点点是在-880以下,残残余氧气低低于0.11ppm,微微粒含量为为0 (00.1umm以上的微微粒)。u 在工作处测测量架设管管路末端的的氩气纯度度,确定露露点在-770以下残余余氧气低于于2ppmm,测量地地点必须在在监工及焊焊接都同意意的地方。u 前4项规定定的工作前前在每天开开始工作由由监工或工工作人员执执行以控制制质量符合合要求。u 若气体容量量未达标准准,通知监监工,暂停停工作,但但是冲吹必必须持续进进行,或使使用预留的的LN2,当当要使用预预留LN22时,必定定要做分析析供给气体体纯度的工工作。l 简易洁净室室(Cleean bb
15、oothh)的洁净净度的控制制u 在Cleaan boooth内内测量焊接接处的微粒粒数量(00.1umm以上)不能超过过100个/c.ff,classs 100000是是用作贮藏藏用,cllass 10000是组装用用。u 在正常使用用中测量微微粒的工作作一天至少少进行1次。l 洁净衣物的的管制u 在Cleaan boooth内内使用的洁洁净衣、洁洁净鞋、洁洁净手套及及其他设备备必需在使使用前检查查其洁净度度。u 使用的洁净净衣物等,必必需一个星星期清洗一一次,不论论有否弄脏脏。l 洁净室依据洁净室室人员管制制规定的管管制细则,所所有的工作作人员皆需需致力于工工作在一个个高洁净空空气环境中中
16、。l 焊接状况的的检查(由个人或或监工)当自动焊接接机的工作作条件改变变时,必须须确定焊接接数据与工工作条件一一致。l 钨棒的保养养及管制u 要时时注意意钨棒是否否变形。u 磨钨棒的工工作必须是是由监工认认可之专业业人员使用用特定的设设备来执行行。l 样品制作及及焊接条件件的检查(焊接者或或监工)u 每日早上在在上工前要要制作数个个同样大小小的样品。u 监工切开样样品,检查查管内部焊焊接情况,用用目视确定定焊接的地地方没有不不规则的孔孔、裂缝、气气孔或没有有完全焊透透等缺点存存在。u 若有焊接缺缺陷发现时时,检查焊焊接条件、更更换钨棒、检检查冲吹气气体纯度、质质量及冲吹吹的方法,直直到结果令令
17、人满意,方方可进行配配管工作。u 样品及焊接接数据必须须同时保存存。2-4.要要求l 机器携入及及架设u 从侧边带入入机器要在在事先申请请同意路线线,并且使使用的拖车车放在特定定的地方。u 在水泥地板板上使用铁铁锚类之固固定机器。u 经纵、横的的方向确定定无误后,固固定机器。u 机器必须在在地板的防防尘油漆涂涂上之前装装上。l 管路标记u 至少每5MM要有标签签贴在管路路上,标明明气体名称流向l 开/关显示示除了球阀外外,所有的的阀都要有有开/关的标示示。 3.弯管作作业规范3-1.说说明本项说明GGas SSysteem作成时时,如何使使用手工具具PIPEE BENNDER来来进行弯曲曲作业
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