GAS系统材料认知和施工规范教材课件.ppt
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1、南京中电熊猫平版显示科技有限公司新一代超高分辨率液晶面板项目(G108)GASGAS系统施工简介和规范系统施工简介和规范G108彩膜/成盒厂房2工作特点一液晶面板厂生产简介二液晶面板厂所需气体之特性与功能三液晶面板厂所需化学物质及其特性四工作内容目录目录G108彩膜/成盒厂房31液晶面板厂简介液晶面板厂是生产液晶面板显示器的现代化厂房,其主要工作场所为无尘室。无尘室是恒温恒湿的,温度为21C。相对湿度为65%。2液晶面板厂所需气体之特性及功能由于制程上的需要,工厂使用了许多种类的气体。一般我们皆以气体特性来区分。可分为特殊气体及一般气体两大类。前者为使用量较小之气体。如SiH4、NF3等。后者
2、为使用量较大之气体。如N2、CDA等。因用量较大;一般气体常以“大宗气体”称之。即BulkGas。特气SpecialtyGas。2-1BulkGas在半导体制程中,需提供各种高纯度的一般气体使用于气动设备动力、化学品输送压力介质或用作惰性环境,或参与反应或去除杂质度等不同功能。目前由于半导体制程日益精进,其所要求气体纯度亦日益提并。以下将简述半导体厂一般气体之品质要求及所需配合之设备及功能。厂房及气体功能介绍厂房及气体功能介绍G108彩膜/成盒厂房2-1-1大宗气体的种类4大宗气体大宗气体中文名称英文名称干燥压缩空气CDA普通氮气GN2高纯氮气PN2高纯氩气PAR高纯氧气PO2高纯氢气PH2高
3、纯氦气Phe大宗气体种类大宗气体种类G108彩膜/成盒厂房52-2SpecialtyGas半导体厂所使用的SpecialtyGas种类繁多,约有四、五十种,依危险性可分为以下数类:SpecialtyGas类别气体名称易燃性气体SiH4、SiH2CL、PH3 等低压性气体DCS、CLF3、WF6 等毒性气体NF3,PH3 等 腐蚀性气体HCL、CL2、SiH2CL2、BCL3BF3、SiF4、WF6、NH3 等窒息性气体CO2、CF4、C2F6 等自燃性气体SiH4、PH3、B2H6 等特气种类特气种类G108彩膜/成盒厂房63-33-3化学特性化学特性序号化学式中文名称化学特性1H2SO4硫酸
4、强腐蚀性液体2H3PO4磷酸腐蚀性液体3HNO3硝酸强腐蚀性液体4HCL盐酸强腐蚀性刺激性液体5BOE50:1蚀刻液腐蚀性、毒性液体6BOE100:1蚀刻液腐蚀性、毒性液体7BOE200:1蚀刻液腐蚀性、毒性液体8DEV显影剂腐蚀性液体9NH4OH氨水强刺激性液体10H2O2双氧水刺激性、腐蚀性液体11M1硝酸氢氟酸混合液强腐蚀性液体1249%HF氢氟酸水溶液腐蚀性剧毒液体131%HF氢氟酸水溶液腐蚀性剧毒液体14Thinner晶边清洗液易燃液体15EKC270光阻去除液腐蚀性、刺激性液体16A515显影液易燃性、刺激性液体17NMP正甲基比喀酮可燃性、刺激性液体18IPA异丙醇易燃性、强毒性
5、液体19C260润湿液易燃性、刺激性液体3晶圆厂所需之化学物质及其特性化学品种类化学品种类G108彩膜/成盒厂房74工作内容我们所做的工作就是利用自动焊机、弯管器等工具。由气瓶柜(或气罐)一端架设管路至FAB内机台附近并开设预留阀即TAKEOFF点(此段工作称为一次配)。然后再由TAKEOFF点配制管线至机台接点即二次配(HOOKUP)。配管材料及阀件简介配管材料及阀件简介1.管件-Pipe&Tube2.连接配件-Fittings3.阀件-UltraCleanValves4.调压阀-PressureRegulator5.压力侦测器-PressureGauge&Transducer6.过滤器-G
6、asFilter7.选用材料依据8.二次阀盘组之形式工作内容及材料认知工作内容及材料认知G108彩膜/成盒厂房81AboutPipe&Tube(关于管材)1-1.依材质分类管材可分为:SUS304SUS316SUS316L其差异在于SUS316增加钼(Mo)金属,改善其机械性质。L则表示材料降低含C量,增加含镍(Ni)量。1-2.依规格分类可分为:日规(JIS):PIPESIZE美规(ASTM):TUBESIZE其中须注意:1”之尺寸在PIPESIZE=25A,其外径OD为34.4mm,在TUBESIZE其OD为25.4mm在PIPESIZE中25A又称1”,50A又称2”,80A又称3”,1
7、00A又称4”TUBESIZE(一般使用在1”以下之Gas配管),常用尺寸为1/8”(一分)、2/8”(二分)、3/8”(三分)、4/8”(四分)、5/8”(五分)、6/8”(六分)、1”。1-3依表面处理方法分类:一般分为三种AP(Annealedandpickled)级(素管):酸洗管BA(Bright-annealed)级:光辉退火管EP(Electrolyticpolished)级:电解抛光管注意:影响管子价格之因素最为重要之决定因素在表面处理之方法,其价格之高低顺序EPBAAP。材料认知材料认知G108彩膜/成盒厂房1-4.依厚度来区分:一般厚度之规格有SCH5S、SCH10S、SC
8、H20S、SCH40S1-5管材又可分为有缝、无缝两种2AboutFittings2-1.材质同管件。(EP/BA)2-2.常用种类:Nut+Gland+GasketElbow、Tee、ReducerCap、PlugConnector接头一般可分为VCR(1/8圈)/SWG(1圈)/Welding(焊接)/螺牙街头/Flange尺寸从1/8”-1”(VCR/SWG)及1/4”300A(Welding/Flange)皆有又分短接头SCM(micro)or长接头SCL(long)&SCF2-4.常用厂牌:KITZ/HAM-LET/IHARA/SWAGELOK/FUJIKIN材料认知材料认知G108
9、彩膜/成盒厂房103AboutValves3-1材质同管材3-2常用种类:手动阀(ManualValve):球阀(BallVavle1/4”-3/4”)波纹管阀(BellowsValve1/4”-大尺寸,用于高压优)隔膜阀(DiaphragmValve1/4”1”用于低压优)3-3常用厂牌:KITI/OHNO/IHARA/MOTOYAMA/NUPRONH3CheckValvemustbeAFLAStype材料认知材料认知G108彩膜/成盒厂房材料认知材料认知G108彩膜/成盒厂房材料认知材料认知G108彩膜/成盒厂房材料认知材料认知G108彩膜/成盒厂房材料认知材料认知G108彩膜/成盒厂房材
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