现代分析测试技术-成分分析技术.ppt
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2、)成分分析技术表面(层)成分分析技术q研究内容及分析技术特点研究内容及分析技术特点qXPSXPS/AES/SIMSAES/SIMS技术技术qEPMAEPMA技术技术q分析基本原理分析基本原理:作用性质:作用性质检测的检测的特征物理量特征物理量、检测器、检测器分辨率分辨率、检测检测元素范围元素范围、信号、信号来源空间来源空间;q定量分析方法定量分析方法:定量分析精度定量分析精度质量损失、元素损失;定量分质量损失、元素损失;定量分析分辨率;析分辨率;q实验技术实验技术:常规常规分析方法;分析方法;最重要最重要分析功能;分析功能;特殊特殊分析技术;分析技术;化学元素分析技术特点及特性比较化学元素分析
3、技术特点及特性比较化学元素分析技术特点及特性比较化学元素分析技术特点及特性比较仪器仪器类别类别 特征物理量特征物理量(分析依据)(分析依据)检测器性质检测器性质(检测器分辨率)(检测器分辨率)检测元素范围检测元素范围(元素灵敏度)(元素灵敏度)信号来源空间信号来源空间(微区分析能力)(微区分析能力)电子探针电子探针分析仪分析仪特征特征X X射线的射线的波长及能量波长及能量SiSi(LiLi)固体探测固体探测器、器、X X光子计数器光子计数器Z Z:11921192;492492;D D1m1m;H H 1m1mX X射线荧射线荧光光谱仪光光谱仪特征特征X X射线的射线的波长及能量波长及能量Si
4、Si(LiLi)固体探测固体探测器、器、X X光子计数器光子计数器Z Z:11921192;492492;D D100m100m;H H:m mmmmm原子发射原子发射光谱仪光谱仪原子光谱灵原子光谱灵敏线的波长敏线的波长分光元件、光电倍分光元件、光电倍增管增管全元素全元素体相检测体相检测原子吸收原子吸收光谱仪光谱仪特征波长谱线特征波长谱线强度的衰减量强度的衰减量光电倍增管光电倍增管元素由元素灯元素由元素灯决定决定体相检测体相检测X X射线光射线光电子谱仪电子谱仪原子轨道的光原子轨道的光电子结合能电子结合能半球型能量分析器半球型能量分析器全元素(全元素(H H、HeHe除外)除外)表面表面2 2
5、5 5nmnm俄歇电子俄歇电子能谱仪能谱仪俄歇电子俄歇电子的动能的动能筒镜型能量分析器筒镜型能量分析器全元素(全元素(H H、HeHe除外)除外)表面表面1 13 3nmnm;化学元素分析仪器化学元素分析仪器化学元素分析仪器化学元素分析仪器分析基本原理比较分析基本原理比较分析基本原理比较分析基本原理比较仪器类别仪器类别 常规分析方法常规分析方法最重要分析功能最重要分析功能特殊分析技术特殊分析技术电子探针电子探针分析仪分析仪表层元素定性、半定量表层元素定性、半定量 分析;分析;固体试样表层元素固体试样表层元素定性及相对定量定性及相对定量表层元素的线分布表层元素的线分布及面分布测试;及面分布测试;
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