自动耦合系统技术指标.docx
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1、自动耦合系统技术指标一、自动耦合系统标准配置及主要技术指标1、六维电动精密滑台2个(左右端各1个)1.1 单个六维电动精密滑台尺寸:299mm (长)X206mm (高)X256mm (下宽)。1.2 材质:全不锈钢结构。1.3 移动量:x和z轴最大移动量为50mm; y轴最大移动量10mm; 0_x最大移动量为6。; 8_y最大移 动量为8。; 9_z最大移动量为8。1.4 精度:x和z轴普通精度为1 pm/脉冲,最高精度为50nm/脉冲;y轴普通精度为0.5pm/脉冲,最高 精度为50nm/脉冲;0_x普通精度为00025 /脉冲;ky普通精度为0.003 /脉冲;0_z普通精度为0.00
2、32 /脉冲。1.5 附带配套电缆线。1.6 在XYZ的直动3轴和6_x、0_yx 8_z的角度3轴上组装了自动滑台的调节架。1.7 所有方向均可控制,其构成适用于单芯光纤、光纤阵列、光波导及各种光学元件等所有器件的自动 调芯用途。1.8 光轴上方空旷,最适用于显微镜和探针接近的用途。2、真空夹具单元一调节架2.1 主材料铝,表面处理:黑耐酸铝处理。2.2 固定方式:真空吸附芯片加机械夹具(侧边)。2.3 可更换式真空吸附芯片,优点是可尽量减小形变造成的耦合损耗2.4 台面尺寸6X38mm和40X38mm,可更换式真空吸附夹具。2.5 组合专用的预置式底座E410-B和波导夹具E400的夹具调
3、节架。2.6 安装在器件用滑台调节架E1000或E1100上使用。2.7 器件调节架:用干安装器件夹具的调节架。2.8 需配套低震动真空泵及真空管线、开关。3、光纤夹具单元3.1 主材料铝,与表面处理:白耐酸铝处理。3.2 磁力吸附,并带有凹槽固定。3.3 外皮芯径250um固定槽,夹具可随时替换。4、控制系统4.1 多轴内置驱动器控制器(5相步进用),型号S102系列,搭载2轴5相步进马达(0.75A/相)驱动 用驱动器的小型控制器。4.2 尺寸:140 (W) X300 (D) X90 (H) mm。4.3 通过编程功能示教功能、即使不连接控制用PC也能构建定位系统。4.4 利用连接功能,
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