滑片式真空泵优秀PPT.ppt
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1、滑片式真空泵你现在浏览的是第一页,共32页真空知识真空表,U形真空计,测得是相对压力,麦氏真空计,电子真空测出的是绝对压力?你现在浏览的是第二页,共32页真空泵定义2、真空泵是根据一定的工作原理,用来产生、改善和维持真空环境的装置。解释:真空泵的工作原理:机械、物理、化学。真空泵的工作目的:排出气体,获得真空。真空泵的定位:系统中完成真空获得功能的单元。真空泵的分类方法:利用获得真空的原理方法,或用途。解释:真空泵的工作原理:机械、物理、化学。真空泵的工作目的:排出气体,获得真空。真空泵的定位:系统中完成真空获得功能的单元。真空泵的分类方法:利用获得真空的原理方法,或用途。你现在浏览的是第三页
2、,共32页真空泵应用方面粗低真空食品行业化工行业冷冻干燥轻工行业制药行业导电(真空放电灯具)超高真空空间模拟材料科学分析物理现象研究表面分析高纯材料制备(如MBE)高真空冶炼真空热处理、真空焊接集成电路、半导体制造各种镀膜工艺各种表面加工工艺化学研究离子注入隔离作用(绝热)你现在浏览的是第四页,共32页真空系统的组成1真空室2高真空泵(主泵)3预抽泵3a前级泵4高真空阀门5低真空阀门6前级管道7放气阀8低真空计9高真空计你现在浏览的是第五页,共32页真空泵的类型(按真空获得方式)你现在浏览的是第六页,共32页真空泵的分类(按真空泵用途)主泵(Mainpump):在真空系统中,用来获得所要求真空
3、度的真空泵;粗抽泵(Roughingvacuumpump):从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵;前级泵(Backingvacuumpump):用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵;维持泵(Holdingvacuumpump):在真空系统中,当气体量很小,不能有效的利用主前级泵。此时,可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度;粗/低真空泵(Rough/Lowvacuumpump):从大气压力开始并用来获得低真空度的真空泵;高真空泵(Highvacuumpump):在高真空范围工作的真空泵;超高真空泵(Ultrahighvacuump
4、ump):在超高真空范围工作的真空泵;增压真空泵(Boostervacuumpump):安装在低真空和高真空泵之间,用来提高系统工作效率或降低前级泵容量要求的真空泵。参见国标:GB/T3163-2007真空技术术语你现在浏览的是第七页,共32页机械真空泵凡是利用机械运动(转动或滑动)来获得真空的泵,称为机械真空泵。变容真空泵(Positivedisplacementpump):泵腔容积的周期性变化来完成抽气。动量传输泵(Kineticvacuumpump):依靠高速叶片、射流,将动量传递给气体,完成抽气。你现在浏览的是第八页,共32页常见机械真空泵图形符号参见国标:GB/T3164-2007真
5、空技术图形符号你现在浏览的是第九页,共32页机械真空泵性能参量抽气速率(Flowrate):在相关标准测试条件下,从测试罩流过的气体流量和在测试罩指定位置测得的平衡压力之比。极限压力(Ultimatepressure):在标准测试条件下,不引入气体正常工作条件下,趋向稳定的最低压力。启动压力(Statingpressure):泵无损坏启动并且有抽气作用的压力。前级压力(Backingpressure):排气压力低于一个大气压,真空泵的出口压力。最大前级压力(Maximumbackingpressure):能使泵损坏的前级压力。最大工作压力(Maximumworkingpressure):对应最
6、大抽气量的入口压力。抽气量(Throughoutofvacuumpump):流经泵入口的气体流量。压缩比(Compressionratio):泵对给定气体的出口压力和入口压力之比。你现在浏览的是第十页,共32页机械真空泵性能参量几点说明:实际应用中真空泵的抽气速率和极限压力是真空泵选配的最重要参量;真空泵的性能测试必须严格按照相关国家标准规定的项目和测试条件来执行;性能测试标准由国标、部标、企业标准几个等级;真空泵在不同使用条件下,强调的性能参数是不同的;对于不同类型真空泵,所需测试的项目差别很大;真空泵性能和真空系统性能是两个概念。你现在浏览的是第十一页,共32页机械真空泵规格及型号参见标准
7、:JB/T7673-2011真空技术真空设备型号编制方法你现在浏览的是第十二页,共32页机械真空泵型号示例变容式机械泵的抽速分档:0.5、1、2、4、8、15、30、70、150、300、600、1200、2500、5000、10000、20000、40000。你现在浏览的是第十三页,共32页真空泵的使用范围你现在浏览的是第十四页,共32页旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为1013251.3310-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化
8、工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。你现在浏览的是第十五页,共32页旋片式真空泵工作原理旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.3310-1(Pa)下,其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。旋片泵主
9、要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时,靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。你现在浏览的是第十六页,共32页旋片式真空泵工作原理两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分,当转子按箭头方向旋转时,与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的,正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的,正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的,正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀),气体压强
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