各种真空泵精选PPT.ppt
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1、关于各种真空泵第1页,讲稿共16张,创作于星期日机械泵(低真空泵)目前主要为涡旋式真空泵 一,立式油润滑涡旋真空泵一,立式油润滑涡旋真空泵 二,水冷干式涡旋真空泵二,水冷干式涡旋真空泵 三,风冷干式涡旋真空泵三,风冷干式涡旋真空泵 四,带波纹管密封的干式涡旋真空泵四,带波纹管密封的干式涡旋真空泵第2页,讲稿共16张,创作于星期日立式油润滑涡旋真空泵 该泵的径向间隙具有易于密封和控制的优该泵的径向间隙具有易于密封和控制的优点。与当时市场上广泛使用的旋片真空泵点。与当时市场上广泛使用的旋片真空泵相比,涡旋真空泵具有更高的容积效率。相比,涡旋真空泵具有更高的容积效率。同时此款式真空泵表明了涡流真空泵
2、的高同时此款式真空泵表明了涡流真空泵的高效性,并对如何消除余隙容积、控制间隙效性,并对如何消除余隙容积、控制间隙等提出了有效的方法。等提出了有效的方法。但是由于没有冷却装置,导致该真空泵的应但是由于没有冷却装置,导致该真空泵的应用受到了很大的限制。同时随着半导体行业用受到了很大的限制。同时随着半导体行业的发展,此系统无法满足清洁以及耐腐蚀的的发展,此系统无法满足清洁以及耐腐蚀的要求。要求。第3页,讲稿共16张,创作于星期日水冷干式涡旋真空泵 随着涡旋真空泵在半导体行业中应用的不断扩随着涡旋真空泵在半导体行业中应用的不断扩大,人们开始致力于干式涡旋真空泵的研究。大,人们开始致力于干式涡旋真空泵的
3、研究。于是人们研究出泵腔内不含任何油类跟液体的于是人们研究出泵腔内不含任何油类跟液体的干式涡旋真空泵。干式涡旋真空泵。其中采用水冷的方式解决泵内各部件其中采用水冷的方式解决泵内各部件的润滑和冷却等问题的为水冷干式涡的润滑和冷却等问题的为水冷干式涡旋真空泵。冷却水通过主轴内的通道旋真空泵。冷却水通过主轴内的通道对电动机、轴承、轴封等处进行冷却。对电动机、轴承、轴封等处进行冷却。为了避免泵腔内气体因温度过低而凝为了避免泵腔内气体因温度过低而凝结,冷却水并不对工作腔进行冷却。结,冷却水并不对工作腔进行冷却。还有效地解决了动静盘热力变形造成还有效地解决了动静盘热力变形造成的相互接触,离心力造成的动盘振
4、动的相互接触,离心力造成的动盘振动等问题。等问题。缺点就是冷却水回路却不可避免地造缺点就是冷却水回路却不可避免地造成结构的复杂性。成结构的复杂性。第4页,讲稿共16张,创作于星期日风冷干式涡旋真空泵 为了解决水冷结构造成的结构复杂等问题,为了解决水冷结构造成的结构复杂等问题,人们又研制了采用风冷方式进行冷却的干式人们又研制了采用风冷方式进行冷却的干式涡旋真空泵。即风冷干式涡旋真空泵。涡旋真空泵。即风冷干式涡旋真空泵。为了提高泵的抽速、涡盘采用双侧涡圈结为了提高泵的抽速、涡盘采用双侧涡圈结构。该涡圈结构的优点在于:构。该涡圈结构的优点在于:抽速是普抽速是普通涡圈的通涡圈的2 2倍。倍。动盘的轴向
5、力具有自平动盘的轴向力具有自平衡的特点。主轴上装有两个冷却风扇,分衡的特点。主轴上装有两个冷却风扇,分别位于两个静盘的端部。主轴转动时带动别位于两个静盘的端部。主轴转动时带动风扇一起转动,达到对涡盘的冷却效果。风扇一起转动,达到对涡盘的冷却效果。同时它采用了半封闭式结构,解决了电动同时它采用了半封闭式结构,解决了电动机的冷却问题。从而使真空泵的结构更加机的冷却问题。从而使真空泵的结构更加紧凑,更加易于装配。紧凑,更加易于装配。但是双侧涡圈结构要求动盘具有较高的轴对称性,但是双侧涡圈结构要求动盘具有较高的轴对称性,加工难度较大加工难度较大第5页,讲稿共16张,创作于星期日带波纹管密封的干式涡旋真
6、空泵 B O CB O C公司也推出了一种采用风冷方式进行冷却的干式公司也推出了一种采用风冷方式进行冷却的干式涡旋真空泵,该泵采用全封闭式结构,涡盘为单侧涡涡旋真空泵,该泵采用全封闭式结构,涡盘为单侧涡圈结构,冷却风扇安装在静盘的端部。它最大的特点圈结构,冷却风扇安装在静盘的端部。它最大的特点在于动盘与机架之间通过金属波纹管进行连接,具有在于动盘与机架之间通过金属波纹管进行连接,具有以下两个主要的优点:以下两个主要的优点:波纹管结构提供了密封作用,波纹管结构提供了密封作用,将泵内的真空环境与外界环境进行了隔离,从而最大将泵内的真空环境与外界环境进行了隔离,从而最大限度地避免了泵内工质向大气的泄
7、漏,拓展了涡旋真限度地避免了泵内工质向大气的泄漏,拓展了涡旋真空泵的用途,可以对某些特殊气体进行抽除。空泵的用途,可以对某些特殊气体进行抽除。波纹波纹管结构提供了防止动盘自转的作用,替代了常用的曲管结构提供了防止动盘自转的作用,替代了常用的曲拐防自转机构,使得结构更紧凑。拐防自转机构,使得结构更紧凑。波纹管结构可以波纹管结构可以根据动盘受力的变化提供轴向和径向的补偿,提高了根据动盘受力的变化提供轴向和径向的补偿,提高了密封的效果。密封的效果。但是目前的金属波纹管主要用于管路中,工作时处于但是目前的金属波纹管主要用于管路中,工作时处于静止的状态。而在涡旋真空泵中,波纹管工作时则处静止的状态。而在
8、涡旋真空泵中,波纹管工作时则处于运动的状态。因此,它必须具有较好的柔性。但是于运动的状态。因此,它必须具有较好的柔性。但是目前市场上的金属波纹管大多显得硬度有余而柔性不目前市场上的金属波纹管大多显得硬度有余而柔性不足。为此,研制出合适的金属波纹管是这一结构有效足。为此,研制出合适的金属波纹管是这一结构有效应用于干式涡旋真空泵的重要前提之一。应用于干式涡旋真空泵的重要前提之一。第6页,讲稿共16张,创作于星期日总结 目前市场上是比较常见的是风冷干式涡旋真空泵和带波目前市场上是比较常见的是风冷干式涡旋真空泵和带波纹管密封的涡旋真空泵。前者在结构上更紧凑,更易于纹管密封的涡旋真空泵。前者在结构上更紧
9、凑,更易于装配;后者的密封性能较好,适合用于对某些特殊气体装配;后者的密封性能较好,适合用于对某些特殊气体的抽除。但是它们在制造中各有技术难点,并不利于国的抽除。但是它们在制造中各有技术难点,并不利于国内干式涡旋真空泵的工业化生产。目前干式涡旋真空泵内干式涡旋真空泵的工业化生产。目前干式涡旋真空泵在国内的发展尚属于起步阶段,产品主要依赖于进口。在国内的发展尚属于起步阶段,产品主要依赖于进口。而具有价格合理,易加工,结构紧凑及高效可靠等特点的干式而具有价格合理,易加工,结构紧凑及高效可靠等特点的干式涡旋真空泵,将是该类型产品未来发展的趋势。也是目前国内涡旋真空泵,将是该类型产品未来发展的趋势。也
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