光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲生产技术要求(T-QGCML 2307—2023).pdf
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1、ICS71.100.01CCS G15团体标准T/QGCML 23072023光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲生产技术要求Technical requirements for the production of low metal content tetramethoxymethylglyurea for photoresist2023-11-27 发布2023-12-12 实施全国城市工业品贸易中心联合会发 布T/QGCML 23072023I目次前言.II1范围.12规范性引用文件.13术语和定义.14技术要求.15试验方法.16检验规则.47标志、包装、运输和贮存.4T/QGCML 23
2、072023II前言本文件按照GB/T 1.12020标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国城市工业品贸易中心联合会提出并归口。本文件起草单位:太原科源达精细化工有限公司、太原化学工业集团有限公司、太原市埃斯维达化工科技有限公司。本文件主要起草人:崔文华、白晓宇、张建成、张孝、胡向军、邢继武、安江辉、裴少琳、卫荣荣、陈嘉伟、曲军、尹渊、尹一航、白文英、蔚舒、王杨、张婕。T/QGCML 230720231光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲生产技术要求1范围本文件规定了光刻胶用低金属含量四甲
3、氧甲基甘脲生产技术要求的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲的生产和检验。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T 191 包装储运图示标志GB/T 6679 固体化工产品采样通则GB/T 6682 实验室用水规格3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1四甲氧甲基甘脲 tetramethoxymethyl glycylurea由甘脲、甲醛和甲醇为原料
4、合成制得的四甲氧甲基甘脲,是皱纹涂料固化剂,光刻胶生产用交联剂。4技术要求4.1外观均匀的白色结晶状固体。4.2技术指标产品技术指标应符合表1要求。表 1技术指标项目指标四甲氧甲基甘脲的含量,99%熔点110125甲醛的含量,0.1%金属离子含量(ppb)50pH值范围6.57.04.3试验条件本标准所用试剂和水在没有注明其他要求时,均指分析纯试剂和GB/T 6682中规定的三级水。5试验方法5.1外观T/QGCML 230720232在自然光下,用目测法观察。5.2四甲氧甲基甘脲含量试验5.2.1试验方法试样用甲醇溶剂,以甲醇水为流动相,使用C18不锈钢柱和安捷伦紫外检测器,对试样中的四甲氧
5、甲基甘脲进行高效液相色谱分离和测定。5.2.2试剂a)甲醇:色谱纯;b)二次蒸馏水;c)四甲氧甲基甘脲标样:已知质量分数,99.0%。5.2.3仪器a)高效液相色谱仪:安捷伦 1260 高效液相色谱仪,具有 230nm 紫外检测器;b)色谱数据处理软件:OpenLab;c)色谱柱:Zorbax-0DS 250mmx4.6mm 不锈钢柱,柱内充填 5m 的 C18填料;d)过滤器:滤膜孔径约 0.45m;e)进样器:20L。5.2.4液相色谱操作条件a)流动相:甲醇水2575(V/V);b)柱温:室温(温差变化应不大于 2);c)流速(mL/min):1.0;d)进样量:10L;e)保留时间:2
6、0min。上述液相色谱操作条件系典型操作参数,可根据仪器的特点对操作参数作适当调整,以获得最佳效果。5.2.5试验步骤a)标样溶液的配制:称取四甲氧甲基甘脲标样 0.05 g(准确至 0.002g),置于 100mL 容量瓶中,用流动相溶解并稀释至刻度,摇匀,备用;b)试样溶液的配制:称取试样 0.2 g(精确至 0.0002 g),置于 100mL 容量瓶中,加入 50mL 流动相于超声波浴槽中振荡 10min,取出,冷却至室温后,用流动相稀释至刻度,摇匀。上层清液用 0.45um 的过滤器过滤,滤液备用;c)测定:在上述操作条件下,待仪器稳定后,按照流动相溶液、标样溶液、流动相溶液、试样溶
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